[实用新型]一种电子束冷床炉自动抽真空装置

说明书

本实用新型公开了一种电子束冷床炉自动抽真空装置，电磁阀Ⅰ与加料仓抽真空口连通且并联真空度检测装置Ⅰ，增压泵两端与电磁阀Ⅰ、电磁阀Ⅱ和电磁阀Ⅳ连通，电磁阀Ⅱ、罗茨泵Ⅰ、电磁阀Ⅲ、机械泵Ⅰ依次连通，电磁阀Ⅱ与罗茨泵Ⅰ间并联真空度检测装置Ⅱ，电磁阀Ⅲ与机械泵Ⅰ间并联真空度检测装置Ⅲ；电磁阀Ⅳ、罗茨泵Ⅱ、电磁阀Ⅴ、机械泵Ⅱ依次连通，电磁阀Ⅳ与罗茨泵Ⅱ间并联真空度检测装置Ⅳ，电磁阀Ⅴ与机械泵Ⅱ间并联真空度检测装置Ⅴ；机械泵Ⅰ及机械泵Ⅱ与排空装置连通。本实用新型具有结构简单、抽真空效率高、真空度控制准确可靠的特点。

技术领域

本实用新型属于冶金设备技术领域，具体涉及一种结构简单、抽真空效率高、真空度控制准确可靠的电子束冷床炉自动抽真空装置。

背景技术

电子束冷床炉(EBCHR)是利用高速运动电子的动能转换成热能做为热源，使金属熔化生成铸锭的一种真空熔炼设备。与传统的真空自耗电弧熔炼相比，EBCHR熔炼通过抽真空装置来保持冶炼炉内稳定的真空，从而降低熔炼过程中对压力变化和金属气体甚至飞溅物的影响敏感度，具有能去除高、低密度夹杂物(HDI、LDI)，可以熔炼原始炉料和100％钛残料及低品质海绵钛，直接生产出诸如圆形、方形截面的铸锭及板坯锭等许多优点，在优质钛及钛合金锭坯的生产中占据相当重要的地位。

电子束冷床炉的抽真空系统比较复杂，目前，一般采用的是罗茨泵、机械增压泵或油增压泵以及机械泵并联工作，各泵间的工作协调采用人工操控方式，不仅抽真空的效率较低，而且不具备远程集控的功能，且占用大量的人力在现场，同时人工操作具有滞后性，不能有效的保持真空度稳定。此外，传统的抽真空系统操控均采用接触器直接控制传动，导致泵的电动机转速不可控，难于将电子束冷床炉内的真空度稳定在特定的设定值范围内。另外，由于传统的电子束冷床炉现场环境极差，粉尘和噪音严重影响岗位操作人员的身体健康，因此也不宜长期有人值守。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、抽真空效率高、真空度控制准确可靠的电子束冷床炉自动抽真空装置。

本实用新型的目的是这样实现的：包括真空度检测装置Ⅰ、电磁阀Ⅰ、增压泵、电磁阀Ⅱ、真空度检测装置Ⅱ、罗茨泵Ⅰ、电磁阀Ⅲ、真空度检测装置Ⅲ、机械泵Ⅰ、电磁阀Ⅳ、真空度检测装置Ⅳ、罗茨泵Ⅱ、电磁阀Ⅴ、真空度检测装置Ⅴ、机械泵Ⅱ、排空装置、控制系统，所述电磁阀Ⅰ与电子束冷床炉的加料仓抽真空口连通且并联有真空度检测装置Ⅰ，所述电磁阀Ⅰ的另一端与增压泵连通，所述增压泵的另一端分别与电磁阀Ⅱ、电磁阀Ⅳ连通，所述电磁阀Ⅱ、罗茨泵Ⅰ、电磁阀Ⅲ、机械泵Ⅰ依次连通，所述电磁阀Ⅱ与罗茨泵Ⅰ间并联有真空度检测装置Ⅱ，所述电磁阀Ⅲ与机械泵Ⅰ间并联有真空度检测装置Ⅲ；所述电磁阀Ⅳ、罗茨泵Ⅱ、电磁阀Ⅴ、机械泵Ⅱ依次连通，所述电磁阀Ⅳ与罗茨泵Ⅱ间并联有真空度检测装置Ⅳ，所述电磁阀Ⅴ与机械泵Ⅱ间并联有真空度检测装置Ⅴ；所述机械泵Ⅰ及机械泵Ⅱ的出口端与排空装置连通，所述真空度检测装置Ⅰ、真空度检测装置Ⅱ、真空度检测装置Ⅲ、真空度检测装置Ⅳ、真空度检测装置Ⅴ的输出端分别与控制系统的输入端电性连接，所述电磁阀Ⅰ、增压泵、电磁阀Ⅱ、罗茨泵Ⅰ、电磁阀Ⅲ、机械泵Ⅰ、电磁阀Ⅳ、罗茨泵Ⅱ、电磁阀Ⅴ及机械泵Ⅱ的控制端分别与控制系统的输出端电性连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型将真空回路设计为三级、双通道结构，罗茨泵与机械泵设计为串联运行机构，并在每个抽真空泵前有压力检测点和开关阀门，用于实时真空度检测和控制管道通断，同时引入在线真空度和设备监测及变频控制技术，自动调整双通道、双泵的协作，减低乃至避免人为因素的不利影响，可有效提高电子束冷床炉内真空度控制的准确性和可靠性及提高劳动效率，也能减少现场环境对操作人员身体健康的影响。而且通过增加跨过罗茨泵直接抽真空的旁路回路，既能在罗茨泵无需工作的情况下进行抽真空，以减少罗茨泵损耗，提高抽真空装置的可靠性；也能在罗茨泵损坏时进行临时切换，以维持冶炼过程。因此，本实用新型具有结构简单、抽真空效率高、真空度控制准确可靠的特点。

附图说明

图1为本实用新型之自动抽真空装置连接示意图(部分控制)；