[实用新型]一种硅烷气体分配供给系统

权利要求书

1.一种硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述硅烷气体分配供给系统包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有风阀、气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换。

2.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述气路系统包括连接气瓶的瓶阀、分别通过管路连接瓶阀的第一路管道和第二路管道，所述第一路管道依次连接有第一阀门、第一单向阀、第一气体差压表及第一应用管道，所述第二路管道依次连接有第二气体差压表和过滤阀，过滤阀后分两路分别连接第二阀门和第三阀门，所述第三阀门后连接有调压阀，所述调压阀处设有第三气体差压表，所述调压阀后分两路分别连接有第四阀门和第五阀门，第四阀门之后连接第二单向阀并与第二阀门后的管路汇合后连接到第二应用管道，所述第五阀门之后连接到第三应用管道。

3.根据权利要求2所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述第一应用管道为高压氮气和低压氮气管路，所述第二应用管道为废气排放管路，所述第三应用管道为硅烷出气管路。

4.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述供气柜前侧设有柜门，所述柜门关闭时使得供气柜密封。

5.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述消防喷淋接头设置在供气柜上方。

6.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述气瓶并列竖向设置在供气柜中，所述供气柜内部的后壁下部设有气瓶支架。

7.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述PLC控制柜设置在供气柜上方且PLC控制柜的控制面板斜向下方设置，所述控制面板上设有触摸屏。

8.根据权利要求1所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述供气柜内部的后壁上部设有安装板，所述气路系统安装在所述安装板上。

9.根据权利要求4所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述柜门上设有玻璃视窗，所述玻璃视窗上设有防爆钢丝网。

10.根据权利要求1至9之一所述的硅烷气体分配供给系统，其特征在于，所述供气柜底部设有气瓶传送台。