[实用新型]一种硅烷气体分配供给系统

说明书

本实用新型公开了一种硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。

技术领域

本实用新型涉及工艺制备技术领域，尤其涉及一种硅烷气体分配供给系统。

背景技术

半导体、光伏、LED、光纤等行业在工艺制程中会普遍使用到硅烷，由于硅烷是非常危险的气体，所以硅烷系统配置在一个密闭的特气柜里面是必不可少的。有以下两点需要特别注意：1、换瓶前钢瓶阀门未关死或者管路中残留有危害气体；2、换瓶后钢瓶接头(猪尾巴管接头)未连接好，导致开瓶时气体溢出。

实用新型内容

鉴于目前存在的上述不足，本实用新型提供一种硅烷气体分配供给系统，操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种硅烷气体分配供给系统，所述硅烷气体分配供给系统包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有风阀、气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换。

依照本实用新型的一个方面，所述气路系统包括连接气瓶的瓶阀、分别通过管路连接瓶阀的第一路管道和第二路管道，所述第一路管道依次连接有第一阀门、第一单向阀、第一气体差压表及第一应用管道，所述第二路管道依次连接有第二气体差压表和过滤阀，过滤阀后分两路分别连接第二阀门和第三阀门，所述第三阀门后连接有调压阀，所述调压阀处设有第三气体差压表，所述调压阀后分两路分别连接有第四阀门和第五阀门，第四阀门之后连接第二单向阀并与第二阀门后的管路汇合后连接到第二应用管道，所述第五阀门之后连接到第三应用管道。

依照本实用新型的一个方面，所述第一应用管道为高压氮气和低压氮气管路，所述第二应用管道为废气排放管路，所述第三应用管道为硅烷出气管路。

依照本实用新型的一个方面，所述气瓶并列竖向设置在供气柜中。

依照本实用新型的一个方面，所述供气柜前侧设有柜门，所述柜门关闭时使得供气柜密封。

依照本实用新型的一个方面，所述消防喷淋接头设置在供气柜上方。

依照本实用新型的一个方面，所述供气柜内部的后壁下部设有气瓶支架。

依照本实用新型的一个方面，所述PLC控制柜设置在供气柜上方且PLC控制柜的控制面板斜向下方设置，所述控制面板上设有触摸屏。

依照本实用新型的一个方面，所述供气柜内部的后壁上部设有安装板，所述气路系统安装在所述安装板上。

依照本实用新型的一个方面，所述柜门上设有玻璃视窗，所述玻璃视窗上设有防爆钢丝网。

依照本实用新型的一个方面，所述供气柜底部设有气瓶传送台。

本实用新型实施的优点：本实用新型所述的硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。