[实用新型]一种长寿命溅射靶材组件有效
| 申请号： | 202020968641.7 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212357372U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 溅射 组件 | ||
1.一种长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板；
所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块，靶材基板的中心与凸块的中心同心；所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接。
2.根据权利要求1所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述阶梯状靶材包括阶梯状金属靶材或阶梯状合金靶材。
3.根据权利要求1所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述背板包括铜背板、铜合金背板或铝合金背板中的任意一种。
4.根据权利要求2或3所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述靶材基板包括方形靶材基板或圆形靶材基板。
5.根据权利要求4所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述凸块包括方形凸块或圆形凸块。
6.根据权利要求4所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述环形背板包括圆环背板或方形环状背板。
7.根据权利要求6所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述靶材基板的厚度不超过环形背板的厚度。
8.根据权利要求7所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述靶材基板的厚度为7-9mm。
9.根据权利要求8所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述环形背板的厚度为7-10mm。
10.根据权利要求8所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述凸块的厚度为12-15mm。
11.根据权利要求8-10任一项所述的长寿命溅射靶材组件，其特征在于，所述阶梯状靶材的台阶宽度为6-10mm。
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