[实用新型]样品承载装置

权利要求书

1.一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，其特征在于，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；

所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标记的直径的刻度。

2.根据权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述定位结构还包括：

设置于所述样品承载台上的定位凹槽，所述定位凹槽为条形结构、由所述承载面的边缘向内延伸、并贯穿多个所述同心圆标记；

可移动的设置于所述定位凹槽上的定位卡扣，用于与放置于样品承载台上的样品接触、以对样品进行定位；

位置信息获取单元，用于获取并显示所述定位卡扣的位置信息。

3.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，所述位置信息获取单元包括：

第一部分，用于以所述承载面的中心点为原点、在所述承载面建立坐标系；

第二部分，用于在所述定位卡扣定位样品后、获取所述定位卡扣的当前位置坐标并显示。

4.根据权利要求3所述的样品承载装置，其特征在于，所述位置信息获取单元包括集成于所述定位卡扣上的数控显示屏。

5.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，多个所述同心圆标记包括靠近所述承载面的边缘的第一同心圆标记和靠近所述承载面的中心点的第二同心圆标记，所述定位凹槽从所述第一同心圆标记远离所述第二同心圆标记的一侧延伸至所述第二同心圆标记远离所述第一同心圆标记的一侧。

6.根据权利要求5所述的样品承载装置，其特征在于，所述定位凹槽沿其延伸方向的中心线所在的直线经过所述承载面的中心点。

7.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，所述定位卡扣采用对X射线的吸收率小于预设值的材料制成。

8.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，所述围挡结构包括均匀设置于所述承载面的边缘的多个定位柱。

9.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，所述围挡结构包括围设于所述样品承载台四周的围栏。

10.根据权利要求9所述的样品承载装置，其特征在于，所述围栏为具有开口的半封闭环式结构。