[实用新型]一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置有效
申请号: | 202020979789.0 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN212903065U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 陆惠宗;陈泓谕;吕冰海;张翔;吴俊杰 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 位移 传感器 测量 大型 圆形 横向 对光 装置 | ||
1.一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置,包括固定平台、移动平台和位移测量传感器,所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器,其特征在于,所述装置还包括准直光源和光学差分探测系统,所述固定平台上设置所述准直光源,所述移动平台上设置所述光学差分探测系统,所述光学差分探测系统包括聚焦透镜、分光镜、第一挡光板、第二挡光板、第一探测器和第二探测器,所述准直光源、聚焦透镜、分光镜、第一探测器和第二探测器依次连接形成光路,所述分光镜的折射方向与第一探测器之间设有第一挡光板,所述分光镜的反射方向与第二探测器之间设有第二挡光板。
2.如权利要求1所述的一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置,其特征在于,所述准直光源的准直光束与所述聚焦透镜的入射方向正对,所述聚焦透镜的出射方向与所述分光镜的入射方向相接,所述分光镜的折射方向通过第一挡光板与第一探测器光路相接,所述分光镜的反射方向通过第二挡光板与第二探测器光路相接,所述第一探测器和第二探测器均与差分信号模块连接。
3.如权利要求1或2所述的一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置,其特征在于所述移动平台上设有X调节器和Y调节器。
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