[实用新型]一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置

说明书

一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置，包括固定平台、移动平台和位移测量传感器，固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器，所述装置还包括准直光源和光学差分探测系统，固定平台上设置所述准直光源，移动平台上设置所述光学差分探测系统，所学差分探测系统包括聚焦透镜、分光镜、第一挡光板、第二挡光板、第一探测器和第二探测器，准直光源、聚焦透镜、分光镜、第一探测器和第二探测器依次连接形成光路，分光镜的折射方向与第一探测器之间设有第一挡光板，分光镜的反射方向与第二探测器之间设有第二挡光板。本发明提供了一种测量精度较高的适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置。

技术领域

本实用新型涉及一种横向对光装置。

背景技术

如图1所示，在用光学或其他类似的位移传感器测量大型圆形被测件的回转直径、回转误差时，可以采用两个反向放置的精密位移传感器。当被测圆形物绕其中心旋转时，两个位移传感器分别记录物体内径或外径(如图1所示)相对于传感器的轴向位移，两个传感器的位移量的和反映了被测圆形物偏离其理论值的大小。在这样的装置中，如何保证两个反向放置的位移测量传感器的主轴完全重合，是实现精确测量的关键。现有技术中无法保证两个反向放置的位移测量传感器的主轴完全重合，测量精确度较低。

发明内容

为了克服已有技术的测量精确度较低的不足，本实用新型提供了一种测量精度较高的适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置，包括固定平台、移动平台和位移测量传感器，所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器，所述装置还包括准直光源和光学差分探测系统，所述固定平台上设置所述准直光源，所述移动平台上设置所述光学差分探测系统，所述光学差分探测系统包括聚焦透镜、分光镜、第一挡光板、第二挡光板、第一探测器和第二探测器，所述准直光源、聚焦透镜、分光镜、第一探测器和第二探测器依次连接形成光路，所述分光镜的折射方向与第一探测器之间设有第一挡光板，所述分光镜的反射方向与第二探测器之间设有第二挡光板。

进一步，所述准直光源的准直光束与所述聚焦透镜的入射方向正对，所述聚焦透镜的出射方向与所述分光镜的入射方向相接，所述分光镜的折射方向通过第一挡光板与第一探测器光路相接，所述分光镜的反射方向通过第二挡光板与第二探测器光路相接，所述第一探测器和第二探测器均与差分信号模块连接。

所述移动平台上设有X调节器和Y调节器。

本实用新型的有益效果主要表现在：测量精度较高。

附图说明

图1是反向放置位移传感器测量回转直径和误差的示意图。

图2是共焦色散传感器器显示的波峰示意图。

图3是移动平台相对于准直光束的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

参照图3，一种适用于位移传感器测量大型圆形物时的横向对光装置，包括固定平台、移动平台1和位移测量传感器2、3，所述固定平台和移动平台上分别安装位移测量传感器，所述装置还包括准直光源和光学差分探测系统，所述固定平台上设置所述准直光源，所述移动平台2上设置所述光学差分探测系统，所述光学差分探测系统包括聚焦透镜9、分光镜7、第一挡光板6、第二挡光板5、第一探测器2 和第二探测器4，所述准直光源、聚焦透镜9、分光镜7、第一探测器 2和第二探测器4依次连接形成光路，所述分光镜7的折射方向与第一探测器2之间设有第一挡光板6，所述分光镜7的反射方向与第二探测器4之间设有第二挡光板5。