[实用新型]一种晶棒夹持定位装置及研磨设备

权利要求书

1.一种晶棒夹持定位装置，其特征在于，包括：并列设置的至少两个夹具(1)，以及固定所述夹具(1)的基座(2)；

其中，所述夹具(1)包括：

第一夹持组件(11)，所述第一夹持组件(11)包括第一夹持臂(111)、以及设置在所述第一夹持臂(111)上的第一夹持件(1110)；

第二夹持组件(12)，所述第二夹持组件(12)包括第二夹持臂(121)、以及设置在所述第二夹持臂(121)上的第二夹持件(1210)，并且所述第二夹持组件(12)与所述第一夹持组件(11)相对设置，以通过所述第一夹持件(1110)和所述第二夹持件(1210)夹持晶棒；

第一驱动装置(13)，连接所述基座(2)和所述第一夹持组件(11)，用于驱动所述第一夹持组件(11)沿晶棒的径向移动以调整晶棒轴心线的位置；

第二驱动装置(14)，连接所述基座(2)和所述第二夹持组件(12)，用于驱动所述第二夹持组件(12)沿晶棒的径向移动以调整晶棒轴心线的位置。

2.如权利要求1所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，所述第一驱动装置(13)包括：第一驱动电机(131)和第一传动机构(132)，其中，

所述第一驱动电机(131)固定在所述基座(2)上；

所述第一传动机构(132)连接所述第一驱动电机(131)和所述第一夹持臂(111)，以使所述第一夹持组件(11)沿晶棒的径向移动以调整晶棒轴心线的位置。

3.如权利要求1所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，所述第二驱动装置(14)包括：第二驱动电机(141)和第二传动机构(142)，其中，

所述第二驱动电机(141)固定在所述基座(2)上；

所述第二传动机构(142)连接所述第二驱动电机(141)和所述第二夹持臂(121)，以使所述第二夹持组件(12)沿晶棒的径向移动以调整晶棒轴心线的位置。

4.如权利要求1所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，所述夹具(1)还包括导向件(15)；其中，

所述第一夹持臂(111)和所述第二夹持臂(121)分别与所述导向件(15)滑动连接，以使所述第一夹持组件(11)和所述第二夹持组件(12)能够沿所述导向件(15)滑动。

5.如权利要求4所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，所述夹具(1)还包括第一滑动件(16)和第二滑动件(17)，其中，

所述第一滑动件(16)套设在所述导向件(15)上，并与所述第一夹持臂(111)连接；

所述第二滑动件(17)套设在所述导向件(15)上，并与所述第二夹持臂(121)连接。

6.如权利要求1所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，还包括：

测量模块(3)，用于测量晶棒的第一偏摆量，并且当所述第一偏摆量超过预设偏摆量时测量第二偏摆量及第二偏摆量位置，以确定所述第一夹持组件(11)或所述第二夹持组件(12)的移动距离。

7.如权利要求6所述的晶棒夹持定位装置，其特征在于，还包括：

控制模块(4)，所述控制模块(4)电连接所述测量模块(3)、所述第一驱动装置(13)和所述第二驱动装置(14)，用于控制所述第一驱动装置(13)或所述第二驱动装置(14)驱动对应的所述第一夹持组件(11)或所述第二夹持组件(12)按照所述移动距离移动以调整晶棒轴心线的位置。

8.一种晶棒研磨设备，其特征在于，包括如权利要求1～7任一项所述的晶棒夹持定位装置。