[实用新型]一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置

权利要求书

1.一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置，其特征在于：包括真空室(1)和若干蒸发源(2)，每个所述蒸发源(2)包括靶材(211)、永磁铁(212)、密封板(213)、永磁铁固定仓(214)、丝杆(215)和梅花手轮(216)；

所述真空室(1)的侧壁开设有若干第一穿孔，每个所述蒸发源(2)的靶材(211)分别通过第一穿孔过盈配合插接于真空室(1)中，每个所述靶材(211)面向真空室(1)外侧的一端均固定设有密封板(213)，每个所述密封板(213)位于靶材(211)面向真空室(1)外部一侧，每个所述密封板(213)均与真空室(1)外侧壁相互贴合，每个所述永磁铁固定仓(214)均为圆筒状且一端设有开口，每个所述永磁铁固定仓(214)设有开口的一端均固定位于密封板(213)远离靶材(211)的一侧，每个所述永磁铁固定仓(214)内均设置永磁铁(212)，每个所述永磁铁固定仓(214)远离真空室(1)的一端圆心处均开设有螺纹穿孔，每个所述螺纹穿孔中螺纹均连接有丝杆(215)，每个所述丝杆(215)的一端分别与永磁铁固定连接、另一端位于永磁铁固定仓(214)外侧且固定连接有梅花手轮(216)。

2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置，其特征在于：每个所述靶材(211)与永磁铁(212)均为圆饼形。

3.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀蒸发源磁场移动装置，其特征在于：每根所述丝杆(215)上开设有一条长度与丝杆一致的刻度槽,所述刻度槽的宽度为3-5mm，所述刻度槽的深度为1-2mm。