[实用新型]一种工件预处理设备有效

专利信息
申请号: 202020989030.0 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN213388894U 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 郭馨;江锐;王倩;周翊;赵江山;王宇 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: C23C22/73 分类号: C23C22/73;C23C22/77;C23C22/82
代理公司: 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 代理人: 王胜利
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 工件 预处理 设备
【权利要求书】:

1.一种工件预处理设备,其特征在于,包括:

钝化液容器,用于容纳对工件进行钝化的钝化液;

与所述钝化液容器可断开连接的试样容器,用于盛放工件,并利用所述钝化液容器提供的钝化液对所述工件进行钝化;

与所述试样容器可断开连接的清洗液供应装置,用于向所述试样容器供应清洗液,所述试样容器还用于利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗;

与所述试样容器可断开连接的惰性气体供应装置,用于向所述试样容器供应惰性气体;

所述试样容器还用于在所述惰性气体的保护下,对清洗后的所述工件进行除湿。

2.根据权利要求1所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括用于密闭所述试样容器的盖体。

3.根据权利要求1所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括成分检测装置和液位检测装置;

所述试样容器用于利用所述钝化液容器提供的钝化液在对所述工件进行钝化前,所述成分检测装置用于检测所述钝化液容器内钝化液的种类;

所述液位检测装置用于在所述钝化液的种类满足工件钝化要求时,检测所述钝化液容器的钝化液液位;

所述成分检测装置还用于在所述钝化液容器的钝化液液位满足工件钝化预设液位时,检测所述钝化液的卤素离子浓度;

所述试样容器具体用于在所述钝化液的卤素离子浓度满足工件的卤素离子预设浓度时,利用所述钝化液容器提供的钝化液在对所述工件进行钝化。

4.根据权利要求3所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括废液收集装置;所述废液收集装置与所述钝化液容器可断开连接;

所述钝化液容器还用于在所述钝化液的种类不满足工件钝化要求时,向所述废液收集装置排放钝化液;

所述清洗液供应装置与所述钝化液容器可断开连接;所述钝化液容器用于向所述废液收集装置排放钝化液后,所述清洗液供应装置用于对所述钝化液容器进行清洗。

5.根据权利要求4所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括钝化液补充装置;所述钝化液补充装置与所述钝化液容器可断开连接;

所述钝化液补充装置用于在所述钝化液的卤素离子浓度不满足工件的卤素离子预设浓度时,向钝化液容器中加入满足工件的卤素离子预设浓度的钝化液;

所述钝化液补充装置还用于在所述钝化液的液位不满足工件钝化预设液位时,向钝化液容器中加入满足工件钝化预设液位的钝化液。

6.根据权利要求1所述的工件预处理设备,其特征在于,所述试样容器用于利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗前,所述试样容器还用于在所述工件钝化后,向所述钝化液容器排放钝化液;

所述工件预处理设备还包括风干装置;

所述试样容器用于在所述工件钝化后,向所述钝化液容器排放钝化液后,所述风干装置用于对所述工件进行风干。

7.根据权利要求1-6任一项所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括腐蚀电阻检测装置;

所述试样容器还用于在所述工件钝化后,所述腐蚀电阻检测装置用于检测所述工件的腐蚀电阻;

所述试样容器用于在所述工件的腐蚀电阻检测次数小于或等于预设检测次数时,若工件的实际腐蚀电阻的误差小于或等于20%,利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗。

8.根据权利要求7所述的工件预处理设备,其特征在于,所述工件预处理设备还包括:工件更换装置,所述工件更换装置用于在所述工件的实际腐蚀电阻的误差大于20%时,更换所述试样容器内的所述工件。

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