[实用新型]一种工件预处理设备

说明书

本实用新型公开一种工件预处理设备，涉及激光器技术领域，以解决现有技术中工件钝化使用气相钝化容易生成较稳定的碳氧化表面层，影响激光器的性能的问题。所述工件预处理设备包括：钝化液容器；与所述钝化液容器可断开连接的试样容器；与试样容器可断开连接的清洗液供应装置；与试样容器可断开连接的惰性气体供应装置。

技术领域

本实用新型涉及光电技术领域，尤其涉及一种工件预处理设备。

背景技术

激光器在半导体、液晶平板显示、太阳能光伏、汽车制造、医疗、科研和国防等领域具有重要的应用价值。

但是激光器的工作介质包含强腐蚀性的卤素介质，会与放电腔部件表面及内部的Si、C、H、O等元素反应生成有害气态产物，影响激光器的性能，因此需要对放电腔中各零部件需要进行超声波清洗、干燥和钝化处理。但是即使超声波多次清洗并不能完全去除部件表面碳氧化反应层，且清洗各零部件在干燥、装配等过程及其中间转移过程均会暴露在大气环境中，其表面将不可避免的再次发生碳氧化反应。钝化处理后各零部件表面层将是由卤化物和碳氧化物共同组成的。

由此造成由于钝化前已生成较稳定的碳氧化表面层，放电腔部件在气体钝化后可能仍包含大量的有害元素，在激光器运行过程中缓慢的生成有害气体，影响激光器的输出性能；且钝化过程需要向放电腔内多次充入抽出较高浓度的卤素气体，易造成环境污染并对操作人员具有一定危险性的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种工件预处理设备，用于在密封的环境中使用液相钝化介质实现对工件进行清洗、干燥、钝化过程，避免现有技术中的较稳定的碳氧化表面层的生成，影响激光器的性能。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种工件预处理设备，包括：

钝化液容器，用于容纳对工件进行钝化的钝化液；

与所述钝化液容器可断开连接的试样容器，用于盛放工件，并利用所述钝化液容器提供的钝化液对所述工件进行钝化；

与所述试样容器可断开连接的清洗液供应装置，用于向所述试样容器供应清洗液，所述试样容器还用于利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗；

与所述试样容器可断开连接的惰性气体供应装置，用于向所述试样容器供应惰性气体；

所述试样容器还用于在所述惰性气体的保护下，对清洗后的所述工件进行除湿。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种预处理设备中，利用液相钝化介质替代原有清洗与气体钝化过程，实现对材料的一次性清洗与钝化，通过向试样容器中加入惰性气体，使清洗后的所述工件处于隔绝空气的环境中进行干燥除湿操作，避免了原本工艺易生成稳态碳氧化物、难以快速去除的问题。并且本实用新型的预处理设备在密闭设备中进行预处理工艺，降低了气体钝化造成环境污染和对操作人员的危险性。

本实用新型还提供一种工件预处理方法，包括：

控制钝化液容器向所述试样容器提供钝化液，使得所述试样容器利用所述钝化液容器提供的钝化液对所述工件进行钝化；

控制清洗液供应装置向所述试样容器供应清洗液，使得所述试样容器利用所述清洗液对钝化后的所述工件进行清洗；

控制惰性气体供应装置向所述试样容器供应惰性气体，使得所述试样容器在所述惰性气体的保护下，对清洗后的所述工件进行除湿。

与现有技术相比，本实用新型提供的工件预处理方法的有益效果与上述技术方案所述预处理设备的有益效果相同，此处不做赘述。

本实用新型还提供一种终端设备，包括：

处理器以及与所述处理器耦合的通信接口，所述处理器用于运行计算机程序，实现上述技术方案所述工件预处理方法。