[实用新型]一种半导体晶圆吸盘

权利要求书

1.一种半导体晶圆吸盘，其特征在于，包括吸盘体(1)、具有内螺纹的连接套筒(2)和具有外螺纹的连接件(3)，所述连接套筒(2)和所述吸盘体(1)之间可拆卸连接，所述连接件(3)穿过所述连接套筒(2)与所述吸盘体(1)螺纹连接，将所述吸盘体(1)和所述连接套筒(2)可拆卸固定连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述吸盘体(1)包括吸盘(11)和连接筒(12)，所述吸盘(11)和连接筒(12)一体成型，所述连接筒(12)具有与所述连接件(3)配合的内螺纹，所述连接筒(12)可拆卸插入至所述连接套筒(2)内。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述吸盘(11)由材料POM制成。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述吸盘(11)背离所述连接筒(12)的一面上设有增大摩擦力的凸起(111)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述连接套筒(2)背离所述吸盘体(1)的一端设有引导面(21)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述连接套筒(2)采用不锈钢材料制成。

7.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆吸盘，其特征在于：所述连接件(3)包括一体成型的螺纹杆(31)和旋拧部(32)，所述螺纹杆(31)的外螺纹和所述连接筒(12)的内螺纹配合，所述旋拧部(32)周侧侧面与所述连接套筒(2)的内壁相贴合。