[实用新型]一种半导体晶圆吸盘

说明书

本实用新型涉及半导体材料技术领域，其公开了一种半导体晶圆吸盘，解决了目前吸盘只能做单一尺寸晶圆的技术问题，包括吸盘体、具有内螺纹的连接套筒和具有外螺纹的连接件，所述连接套筒和所述吸盘体之间可拆卸连接，所述连接件穿过所述连接套筒与所述吸盘体螺纹连接，将所述吸盘体和所述连接套筒可拆卸固定连接在一起。根据以上技术方案，可更换不同尺寸吸盘体的晶圆吸盘结构，从而在吸盘装备完成后，通过拆卸吸盘体，即可达到做多尺寸晶圆的目的。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料技术领域，更具体地说，它涉及一种半导体晶圆吸盘。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。实际产品中，晶圆具有不同的尺寸，如传统匀胶显影机的制作工艺中具有2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸和12寸等不同尺寸的晶圆衬底。

在吸取晶圆衬底时，工艺中需要用到晶圆吸盘，传统技术中，吸盘是高精密部件且吸盘多为一体式，并且精度要求高，制作中报废率高，使用中易损伤损坏，一体式吸盘装备好后不可拆卸更换，只能做单一尺寸晶圆。

实用新型内容

针对背景技术中提出的吸盘只能做单一尺寸晶圆的技术问题，本实用新型旨在提供一种可更换不同尺寸吸盘体的晶圆吸盘结构，从而在吸盘装备完成后，通过拆卸吸盘体，即可达到做多尺寸晶圆的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种半导体晶圆吸盘，包括吸盘体、具有内螺纹的连接套筒和具有外螺纹的连接件，所述连接套筒和所述吸盘体之间可拆卸连接，所述连接件穿过所述连接套筒与所述吸盘体螺纹连接，将所述吸盘体和所述连接套筒可拆卸固定连接在一起。

通过上述技术方案，连接件将吸盘体和连接套筒固定在一起，吸盘体用于吸取晶圆进行匀胶显影机的安装工艺作业，此时吸取的为特定尺寸的晶圆，当安装工艺中需要更换不同尺寸的晶圆进行安装时，将吸盘体更换下来，在连接套筒上换上不同尺寸的吸盘体，从而能够吸取其他尺寸的晶圆，大大方便了匀胶显影机的安装工艺作业。其中，连接件外螺纹的连接采用美制锥螺纹，其好处：1.连接紧固，2.挤胀连接处更好密封。

本实用新型进一步设置为：所述吸盘体包括吸盘和连接筒，所述吸盘和连接筒一体成型，所述连接筒具有与所述连接件配合的内螺纹，所述连接筒可拆卸插入至所述连接套筒内。

本实用新型进一步设置为：所述吸盘由材料POM制成。

通过上述技术方案，相对于传统的吸盘体材料选用贵重的PEEK材料，本方案中吸盘体可选用材料POM制成，节约材料成本。

本实用新型进一步设置为：所述吸盘背离所述连接筒的一面上设有增大摩擦力的凸起。

本实用新型进一步设置为：所述连接套筒背离所述吸盘体的一端设有引导面。

通过上述技术方案，连接套筒连接在电机的杆上，将电机的杆插入至连接套筒内进行安装，此时，设置引导面，方便将电机的杆插入至连接套筒内。

本实用新型进一步设置为：所述连接套筒采用不锈钢材料制成。

本实用新型进一步设置为：所述连接件包括一体成型的螺纹杆和旋拧部，所述螺纹杆的外螺纹和所述连接筒的内螺纹配合，所述旋拧部周侧侧面与所述连接套筒的内壁相贴合。

通过上述技术方案，连接件外螺纹和连接筒内螺纹的连接采用美制锥螺纹，其好处：1.连接紧固，2.挤胀连接处更好密封。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

(1)可拆卸更换不同尺寸的吸盘体，从而可吸取不同尺寸的晶圆进行安装；