[实用新型]一种用于IC载板的化学镀装置

权利要求书

1.一种用于IC载板的化学镀装置，所述化学镀装置包括化学镀槽、镀液循环装置和镀液喷流组件，所述镀液喷流组件放置在所述化学镀槽的内部，其特征在于，所述镀液喷流组件包括两个喷流盒，每个喷流盒具有一设置有多个喷流孔的侧面，待镀IC载板悬挂在两个喷流盒具有多个喷流孔的侧面之间，所述镀液循环装置包括泵、管道、提供镀液入口的“H”形顶部开口槽部件和提供镀液出口的部件，所述“H”形顶部开口槽部件位于待镀IC载板的垂直下方，并且所述“H”形顶部开口槽部件包括左侧竖向顶部开口槽、右侧竖向顶部开口槽和位于它们之间的横向顶部开口槽，所述左侧竖向顶部开口槽和所述右侧竖向顶部开口槽平行于待镀IC载板所在的平面。

2.根据权利要求1所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述提供镀液出口的部件连接所述喷流盒，并且内部设置有过滤网，用于过滤镀液中的杂质以避免所述杂质进入所述喷流盒堵塞所述喷流孔。

3.根据权利要求1或2所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述“H”形顶部开口槽部件固定安装在所述化学镀槽的底部，使得化学镀槽中的镀液只能通过所述“H”形顶部开口槽部件提供的镀液入口进入循环装置的管道。

4.根据权利要求1或2所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述其特征在于，所述左侧竖向顶部开口槽和所述右侧竖向顶部开口槽的开口宽度大于所述横向顶部开口槽的开口宽度。

5.根据权利要求4所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述左侧竖向顶部开口槽和所述右侧竖向顶部开口槽的开口宽度为3～5mm，所述横向顶部开口槽的开口宽度为2～4mm。

6.根据权利要求1或2所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述左侧竖向顶部开口槽和所述右侧竖向顶部开口槽分别位于两个喷流盒的设置有多个喷流孔的侧面的垂直下方。

7.根据权利要求1或2所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述“H”形顶部开口槽部件的开口与所述两个喷流盒的底部是间隔的。

8.根据权利要求7所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述“H”形顶部开口槽部件的开口与所述两个喷流盒的底部相距4～6mm。

9.根据权利要求1或2所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述镀液循环装置还包括压力计和流量计。

10.根据权利要求9所述的用于IC载板的化学镀装置，其特征在于，所述镀液循环装置还包括压力调节阀和流量调节阀。