[实用新型]单体气化装置及其应用的镀膜设备

权利要求书

1.单体气化装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有用于封装液态单体气的单体容器(2)以及用于对所述单体容器(2)恒温加热的恒温加热系统(5)，所述单体容器(2)上还设有出气管(4)，通过所述恒温加热系统(5)对单体容器(2)加热使液态单体气气化并使气化后的单体气形成一定的带压气源从出气管(4)流出，且所述单体容器(2)上还设有用于检测单体容器(2)内液态单体气的余量的单体液位测量装置(3)。

2.根据权利要求1所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)内位于所述单体容器(2)的外周设有注水腔(11)，所述恒温加热系统(5)加热所述注水腔(11)内的液体进而恒温加热所述单体容器(2)。

3.根据权利要求2所述的单体气化装置，其特征在于，所述恒温加热系统(5)包括加热器(51)、液位传感器(52)以及温度传感器，所述加热器(51)设于所述注水腔(11)内，所述温度传感器和所述液位传感器(52)均连接所述加热器(51)，所述温度传感器用于实时检测水温，并在水温未达标时控制加热器加热以调节水温，所述液位传感器(52)设于箱体(1)的侧壁，用于测量水位且在水位过低时停止加热器(51)的加热。

4.根据权利要求1所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)的内侧设有用于放置所述单体容器(2)的座板(6)，所述座板(6)的下侧设有多个间隔设置并与所述箱体(1)底部相连用于支撑所述座板(6)的支撑板(7)。

5.根据权利要求2所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)还包括用于密封所述注水腔(11)的盖板(12)，所述单体液位测量装置(3)固定于所述盖板(12)上。

6.根据权利要求1所述的单体气化装置，其特征在于，所述单体液位测量装置(3)包括磁感液位计(31)和与所述磁感液位计(31)相连伸入单体容器(2)内的测量管(32)。

7.根据权利要求2所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)还包括设于所述注水腔(11)外侧的夹层腔体(13)。

8.根据权利要求2所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)的底部外壁设有与所述注水腔(11)连通的注水口(101)，所述箱体(1)的顶部外壁设有与所述注水腔(11)连通的溢流口(102)。

9.根据权利要求2所述的单体气化装置，其特征在于，所述箱体(1)的侧壁还设有与所述注水腔(11)连通的放水口(103)。

10.镀膜设备，其特征在于：包括权利要求1-9任一项所述的单体气化装置。