[实用新型]一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置

权利要求书

1.一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架（7），其特征在于：所述底架（7）顶端四角处均固定设置有固定杆（8），所述底架（7）顶端中部固定设置有显光扫描装置（3），所述底架（7）顶端前侧右侧的固定杆（8）外部一侧固定设置有控制面板（9），两侧所述固定杆（8）顶端相对一侧均活动设置有转动轮（5），所述转动轮（5）之间均固定设置有输送带（6），所述输送带（6）外部均固定设置有若干固定块（16），所述底架（7）顶端前侧右端的固定杆（8）右侧上端固定设置有安装框（2），所述安装框（2）内部一侧通过安装座固定设置有电机（1），所述电机（1）的输出端固定设置有转杆（4），所述转杆（4）在远离电机（1）的一端依次穿过安装框（2）、固定杆（8）和前侧的转动轮（5）之间，所述控制面板（9）通过导线分别与显光扫描装置（3）和电机（1）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述固定块（16）相对一侧在靠近输送带（6）的一端均固定设置有固定夹杆（14），所述固定夹杆（14）在远离固定块（16）的一端均固定设置有固定夹板（15），所述固定块（16）相对一侧在位于固定夹杆（14）的一端均固定设置有活动夹杆（13），所述活动夹杆（13）在远离固定块（16）的一端均固定设置有活动夹板（11），所述固定夹杆（14）中部在靠近活动夹杆（13）的相对位置均固定设置有限位夹套（12）。

3.根据权利要求2所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述固定夹板（15）与活动夹板（11）在远离固定块（16）的一端相对一侧均开设有夹持口（10）。

4.根据权利要求3所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述夹持口（10）内部均固定设置有橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述安装框（2）内部和固定杆（8）在位于转杆（4）的相对位置开设有转孔。

6.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述安装框（2）内部在位于转杆（4）的相对位置固定设置有轴承。