[实用新型]调平装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种调平装置。本实用新型中，调平装置包括：基座；罩壳，呈筒状并与基座相连，且罩壳和基座形成容置区；端盖，与基座相对设置，设置在罩壳背离基座的一侧；柔性铰链，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；柔性铰链设置成可在基座和端盖之间弹性变形；至少三个陶瓷叠堆，设置在容置区内，且夹持在基座和端盖之间；各陶瓷叠堆设置成可在通电后在端盖的轴向上形变；其中各陶瓷叠堆中的至少三个沿端盖的周向设置；罩壳用于限制端盖在其轴向上的预设范围内运动；还用于限制端盖在其径向上的预设范围内运动。与现有技术相比，使得该调平装置满足可承受高负载和大切向力的要求。

技术领域

本实用新型涉及半导体装备制造技术领域，具体涉及一种调平装置。

背景技术

近年来，随着半导体技术和精密光学技术的不断发展，精密运动台的精度和负载逐年提升，以适应于产品需求的不断提高。例如光刻设备、芯片制造主机和电镜观测台。其中，压电陶瓷运动台的技术也在不断地迭代更新。

现有技术中，调平机构包括直线电机驱动、压电电机驱动等，预紧方式包括弹簧预紧、柔性铰链预紧等。例如，专利CN101004555采用三组调节器组件进行调节，其中的调节杆使用直线电机。然而该种调节方式的结构复杂，无法适用于高负载和大切向力工况，并且无法承受冲击载荷。再例如，专利CN102854751采用三组平行簧片进行预紧，采用该种预紧方式，弹簧初始位置一致性的调节难度大，只能承受单向预紧，无法承受冲击载荷，并且切向刚度差。

因此，现有调平机构存在无法适用于负载小、切向力小的工况，无法承受冲击载荷等缺陷。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供一种调平装置，使得该调平装置满足可承受高负载和大切向力的要求。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种调平装置，包括：

基座；

罩壳，呈筒状并与所述基座相连，且所述罩壳和所述基座形成容置区；

端盖，与所述基座相对设置，设置在所述罩壳背离所述基座的一侧；

柔性铰链，设置在所述容置区内，且夹持在所述基座和所述端盖之间；所述柔性铰链设置成可在所述基座和所述端盖之间弹性变形；

至少三个陶瓷叠堆，设置在容置区内，且夹持在所述基座和所述端盖之间；各所述陶瓷叠堆设置成可在通电后在所述端盖的轴向上形变；其中各所述陶瓷叠堆中的至少三个沿所述端盖的周向设置；

其中，所述罩壳用于限制所述端盖在其轴向上的预设范围内运动；还用于限制所述端盖在其径向上的预设范围内运动。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，由于设有基座、罩壳、端盖、柔性铰链和至少三个陶瓷叠堆，罩壳呈筒状并与基座相连，罩壳和基座形成容置区，柔性铰链和陶瓷叠堆放置在容置区内，罩壳让端盖整体在径向和轴向上只能在预设范围内运动，在调平装置受到较大切向力时，端盖将力传输给限位机构，限位机构又被罩壳基座支撑，进而让端盖受到的较大切向力得到抵消，在较大切向力的作用下，端盖也可正常工作，因此调平装置可承受较大的负载，应用范围较大。又由于设有柔性铰链、至少三个陶瓷叠堆，柔性铰链和陶瓷叠堆均设置在容置区内，且均夹持在基座和端盖之间，柔性铰链让端盖在轴向上有预紧力，让盖板一直处于受力稳定状态，而陶瓷叠堆至少设有三个，且沿端盖的周向设置，在多个陶瓷叠堆在轴向上产生形变，带动端盖可稳定在朝向或背离基座的方向上倾覆，从而使得调平装置可稳定的工作。

在一实施例中，所述罩壳包括：

罩壳本体，与所述基座相连，并和所述基座形成所述容置区；