[实用新型]一种蓝宝石热场位置调节装置有效

专利信息
申请号: 202021040591.2 申请日: 2020-06-09
公开(公告)号: CN212426242U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 陈宏;李庆;张国威 申请(专利权)人: 山西中聚晶科半导体有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 030060 山西省晋中市榆次*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 位置 调节 装置
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,其特征在于:包括调节杆,调节杆包括手柄(1)、支撑块(2)、杆体(6)和推移部(7),杆体(6)的一端与手柄(1)连接,杆体(6)的另一端与推移部连接,杆体(6)靠近手柄(1)的一侧设有外螺纹(3),外螺纹(3)的一侧设有若干个密封槽(4)以及设置在密封槽(4)内的密封圈(5), 支撑块(2)内设有内螺孔,支撑块(2)的一端与炉壁(8)的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁(8)上环绕设置有若干通孔,杆体(6)贯穿支撑块(2)和炉壁(8),与支撑块(2)螺纹相连,密封圈(5)与通孔形成密封。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述推移部(7)为金属圆柱。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述调节杆的数量为8个,均匀环绕分布在所述炉壁(8)上。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述密封槽(4)和密封圈(5)的数量均为3个。

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