[实用新型]一种蓝宝石热场位置调节装置有效
申请号: | 202021040591.2 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN212426242U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 陈宏;李庆;张国威 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 位置 调节 装置 | ||
1.一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,其特征在于:包括调节杆,调节杆包括手柄(1)、支撑块(2)、杆体(6)和推移部(7),杆体(6)的一端与手柄(1)连接,杆体(6)的另一端与推移部连接,杆体(6)靠近手柄(1)的一侧设有外螺纹(3),外螺纹(3)的一侧设有若干个密封槽(4)以及设置在密封槽(4)内的密封圈(5), 支撑块(2)内设有内螺孔,支撑块(2)的一端与炉壁(8)的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁(8)上环绕设置有若干通孔,杆体(6)贯穿支撑块(2)和炉壁(8),与支撑块(2)螺纹相连,密封圈(5)与通孔形成密封。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述推移部(7)为金属圆柱。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述调节杆的数量为8个,均匀环绕分布在所述炉壁(8)上。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石热场位置调节装置,其特征在于:所述密封槽(4)和密封圈(5)的数量均为3个。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西中聚晶科半导体有限公司,未经山西中聚晶科半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021040591.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。