[实用新型]一种蓝宝石热场位置调节装置有效

专利信息
申请号: 202021040591.2 申请日: 2020-06-09
公开(公告)号: CN212426242U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 陈宏;李庆;张国威 申请(专利权)人: 山西中聚晶科半导体有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 030060 山西省晋中市榆次*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 位置 调节 装置
【说明书】:

实用新型公开一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,该装置包括调节杆,调节杆包括手柄、支撑块、杆体和推移部,杆体的一端与手柄连接,杆体的另一端与推移部连接,杆体靠近手柄的一侧设有外螺纹,外螺纹的一侧设有若干个密封槽以及设置在密封槽内的密封圈,支撑块内设有内螺孔,支撑块的一端与炉壁的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁上环绕设置有若干通孔,杆体贯穿支撑块和炉壁,与支撑块螺纹相连,密封圈与通孔形成密封;本实用新型不需要拆装热场,只需要调节调节杆的位置即可对热场进行调节,本实用新型能够减少人力成本,缩短热场调节时间,提高生产效率和蓝宝石生长质量。

技术领域

本实用新型一种蓝宝石热场位置调节装置,属于蓝宝石晶体制备工具技术领域。

背景技术

泡生法一种从熔融液体中生长单晶体的晶体生长法,现在广泛应用于蓝宝石单晶的生长。蓝宝石生长过程中,晶体需要一个径向的生长梯度,晶体在坩埚中,所以坩埚和热场的距离至关重要,在梯度不均匀时需要对热场进行移动,热场重量大,热场内有一层钨钼保温材料,但是热场拆装时保温材料容易造成损坏,因此亟须一种不需要拆装热场且能调节热场的装置。

实用新型内容

本实用新型一种蓝宝石热场位置调节装置,克服了现有技术存在的不足,提供一种可对蓝宝石单晶炉中的热场进行位移调节的装置,使热场建立合理的温度梯度。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,包括调节杆,调节杆包括手柄、支撑块、杆体和推移部,杆体的一端与手柄连接,杆体的另一端与推移部连接,杆体靠近手柄的一侧设有外螺纹,外螺纹的一侧设有若干个密封槽以及设置在密封槽内的密封圈, 支撑块内设有内螺孔,支撑块的一端与炉壁的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁上环绕设置有若干通孔,杆体贯穿支撑块和炉壁,与支撑块螺纹相连,密封圈与通孔形成密封。

优选的,所述推移部为金属圆柱。

优选的,所述调节杆的数量为8个,均匀环绕分布在所述炉壁上。

优选的,所述密封槽和密封圈的数量均为3个。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果。

在蓝宝石单晶生长炉安装本实用新型后,需要对热场调节时,不需要拆装热场,只需要调节调节杆的位置即可对热场进行调节。本实用新型能够减少人力成本,缩短热场调节时间,提高蓝宝石生产效率和生长质量。

附图说明

图1为本实用新型提供的调节杆的结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为沿图2中A-A线的剖视图。

图中,1-手柄,2-支撑块,3-外螺纹,4-密封槽,5-密封圈,6-杆体,7-推移部,8-炉壁,9-真空层,10-热场外壳,11-坩埚。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1、图2所示,本实用新型一种蓝宝石热场位置调节装置,应用在蓝宝石单晶生长炉,包括调节杆,调节杆包括手柄1、支撑块2、杆体6和推移部7,杆体6的一端与手柄1连接,杆体6的另一端与推移部连接,杆体6靠近手柄1的一侧设有外螺纹3,外螺纹3的一侧设有若干个密封槽4以及设置在密封槽4内的密封圈5, 支撑块2内设有内螺孔,支撑块2的一端与炉壁8的外壁固定,在蓝宝石单晶生长炉的炉壁8上环绕设置有若干通孔,杆体6贯穿支撑块2和炉壁8,与支撑块2螺纹相连,密封圈5与通孔形成密封。

本实施例中,推移部7为金属圆柱。密封槽4和密封圈5的数量均为3个。调节杆的数量为8个,均匀环绕分布在炉壁8上。手柄1与杆体6为可拆卸设计。

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