[实用新型]一种晶圆分片分离机构

权利要求书

1.一种晶圆分片分离机构，其特征在于：包括分片结构和分离结构，所述分片结构设于所述分离结构的一侧，所述分片结构用于将叠放在一起的晶圆分开，所述分离机构用于将分开的晶圆分离；其中，

所述分片结构包括第一分片装置、第二分片装置和支撑装置，所述第一分片装置与所述第二分片装置均设于所述支撑装置上，且所述第一分片装置和/或所述第二分片装置可相对于所述支撑装置移动，所述第一分片装置与所述第二分片装置设于所述分离结构的两侧，对叠放在一起的晶圆进行分片。

2.根据权利要求1所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一分片装置与所述第二分片装置均包括多个出水装置，多个所述出水装置沿着竖直方向依次设置，所述出水装置设有多个出水孔。

3.根据权利要求2所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一分片装置的出水装置与所述第二分片装置的出水装置相对设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一分片装置与所述第二分片装置平行设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述分离结构包括第一分离装置和第二分离装置，所述第一分离装置与所述第二分离装置沿着晶圆传送方向依次设置，所述第一分离装置用于在水中对分片后的晶圆进行分离、传送，所述第二分离装置用于在空气中对分片后的晶圆进行传送。

6.根据权利要求5所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一分离装置包括第一传送装置和第一晶圆吸取装置，所述第一传送装置设于所述第一晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送，所述第一晶圆吸取装置设有多个第一吸附孔，用于对晶圆进行吸附。

7.根据权利要求6所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第二分离装置包括第二传送装置、第二晶圆吸取装置和分离件，所述第二传送装置设于所述第二晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送；

所述第二晶圆吸取装置设有多个第二吸附孔，对晶圆进行吸附；

所述分离件与所述第二晶圆吸取装置相对设置，且所述分离件与所述第二晶圆吸取装置之间具有间隙，对晶圆进行分离。

8.根据权利要求7所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述分离件包括至少一个转动轮。

9.根据权利要求7或8所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一传送装置与所述第二传送装置均为带传动。

10.根据权利要求7或8所述的晶圆分片分离机构，其特征在于：所述第一晶圆吸取装置与所述第二晶圆吸取装置分别与负压装置连接。