[实用新型]一种晶圆分片分离机构

说明书

本实用新型提供一种晶圆分片分离机构，包括分片结构和分离结构，分片结构设于分离结构的一侧，分片结构用于将叠放在一起的晶圆分开，分离机构用于将分开的晶圆分离；其中，分片结构包括第一分片装置、第二分片装置和支撑装置，第一分片装置与第二分片装置均设于支撑装置上，且第一分片装置和/或第二分片装置可相对于支撑装置移动，第一分片装置与第二分片装置设于分离结构的两侧，对叠放在一起的晶圆进行分片。本实用新型的有益效果是具有分片机构和分离机构，能够对叠放在一起的晶圆进行分片、分离，自动化程度高，降低劳动强度，将叠在一起的晶圆片进行自动分片，可以对接各种以单片晶圆片为工作对象的工序，分片效率高。

技术领域

本实用新型属于硅片生产技术领域，尤其是涉及一种晶圆分片分离机构。

背景技术

在光伏或半导体领域，在晶圆制备的过程中，在湿法下载后，下料对象为一摞叠起来的晶圆片，下一工序上料是需要单片晶圆入蓝，湿法下载后的晶圆叠在一起，需要分离，现有分离方式为手动方式分片，手工方式分片由于用力不均，因此很容易将硅片弄碎，分片效率低，劳动强度大。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种晶圆分片分离机构，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种晶圆分片分离机构，包括分片结构和分离结构，分片结构设于分离结构的一侧，分片结构用于将叠放在一起的晶圆分开，分离机构用于将分开的晶圆分离；其中，分片结构包括第一分片装置、第二分片装置和支撑装置，第一分片装置与第二分片装置均设于支撑装置上，且第一分片装置和/或第二分片装置可相对于支撑装置移动，第一分片装置与第二分片装置设于分离结构的两侧，对叠放在一起的晶圆进行分片。

进一步的，第一分片装置与第二分片装置均包括多个出水装置，多个出水装置沿着竖直方向依次设置，出水装置设有多个出水孔。

进一步的，第一分片装置的出水装置与第二分片装置的出水装置相对设置。

进一步的，第一分片装置与第二分片装置平行设置。

进一步的，分离结构包括第一分离装置和第二分离装置，第一分离装置与第二分离装置沿着晶圆传送方向依次设置，第一分离装置用于在水中对分片后的晶圆进行分离、传送，第二分离装置用于在空气中对分片后的晶圆进行传送。

进一步的，第一分离装置包括第一传送装置和第一晶圆吸取装置，第一传送装置设于第一晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送，第一晶圆吸取装置设有多个第一吸附孔，用于对晶圆进行吸附。

进一步的，第二分离装置包括第二传送装置、第二晶圆吸取装置和分离件，第二传送装置设于第二晶圆吸取装置的两侧，用于对晶圆进行传送；

第二晶圆吸取装置设有多个第二吸附孔，对晶圆进行吸附；

分离件与第二晶圆吸取装置相对设置，且分离件与第二晶圆吸取装置之间具有间隙，对晶圆进行分离。

进一步的，分离件包括至少一个转动轮。

进一步的，第一传送装置与第二传送装置均为带传动。

进一步的，第一晶圆吸取装置与第二晶圆吸取装置分别与负压装置连接。

由于采用上述技术方案，使得晶圆分片分离机构的机构紧凑，使用便捷，安装维修方便，具有分离结构和分片结构，能够对叠放在一起的晶圆进行分片、分离，取代人工操作，自动化程度高，降低劳动强度，将叠在一起的晶圆片进行自动分片，提高自动化程度，可以对接各种以单片晶圆片为工作对象的工序，分片效率高；