[实用新型]一种硅片整体翻转移片机构及太阳能设备

权利要求书

1.一种硅片整体翻转移片机构，其衔接设置于相邻两道用于硅片镀膜工艺的太阳能主设备一及主设备二之间，所述主设备一对应设置有载板一，所述主设备二对应设置有载板二；其特征在于，所述翻转移片机构包括设置在机架上的吸片翻片模组及吸片移载模组，所述吸片翻片模组对应所述主设备出口端的载板一，所述吸片移载模组对应所述主设备入口端的载板二；

所述吸片翻片模组包括对称安装在所述机架两端的升降气缸一，由所述升降气缸一驱动升降的支架一，并列设置在所述支架一上的多根翻转轴，并列设置在所述翻转轴上的多个翻转吸盘，以及用于多根所述翻转轴上翻转吸盘同步翻转的翻转机构，多排所述翻转吸盘与所述载板一上的硅片一一对应，且所述翻转吸盘具有吸嘴用于硅片取放；

所述吸片移载模组包括安装在所述机架上且相互平行设置的两根导轨，安装在所述两根所述导轨上的移片机械手，以及安装在所述导轨上用于驱动所述移片机械手沿所述导轨水平移动的移载气缸及移载导杆，所述导轨沿所述载板一及载板二运行方向延伸；

所述移片机械手包括分别安装在两根所述导轨上并对称的升降气缸二，以及由两个所述升降气缸二同步驱动升降的至少一排移载吸盘，每排所述移载吸盘的数量、规格及间距均与每根所述翻转轴上的翻转吸盘的数量、规格及间距一致。

2.根据权利要求1所述的一种硅片整体翻转移片机构，其特征在于，所述翻转机构包括设置在所述机架上的伺服电机，以及由所述伺服电机驱动并同步驱动多根所述翻转轴同步翻转的皮带或链轮。

3.根据权利要求1所述的一种硅片整体翻转移片机构，其特征在于，所述移片机械手包括连接在两个所述升降气缸二之间的升降主杆，安装在所述升降主杆上的支架二，以及对称设置在所述支架二上并相互平行的两根与所述导轨垂直的升降副杆，多个所述移载吸盘并列安装在所述升降副杆上，且每根所述升降副杆上移载吸盘的数量、规格及间距均与每根所述翻转轴上翻转吸盘的数量、规格及间距一致。

4.一种太阳能设备，其特征在于，包括权利要求1-3任一项所述的硅片整体翻转移片机构，以及相邻两道用于硅片镀膜工艺的太阳能主设备一及主设备二；所述翻转移片机构衔接设置于所述主设备一及主设备二之间，对应所述主设备一的入口端设置有上下料机构一，对应所述主设备二的出口端设置有上下料机构二。

5.根据权利要求4所述的一种太阳能设备，其特征在于，所述翻转移片机构的吸片翻片模组与上下料机构一之间设置有载板回传系统一。

6.根据权利要求5所述的一种太阳能设备，其特征在于，所述载板回传系统一设置于所述主设备一的侧边或下方。

7.根据权利要求4所述的一种太阳能设备，其特征在于，所述翻转移片机构的吸片移载模组与上下料机构二之间设置有载板回传系统二。

8.根据权利要求7所述的一种太阳能设备，其特征在于，所述载板回传系统二设置于所述主设备二的侧边或下方。