[实用新型]一种硅片整体翻转移片机构及太阳能设备有效

专利信息
申请号: 202021063985.X 申请日: 2020-06-10
公开(公告)号: CN212011009U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 上官泉元;芦伟;庄正军 申请(专利权)人: 常州比太科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 代理人: 吴倩
地址: 213164 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 整体 转移 机构 太阳能 设备
【说明书】:

实用新型公开的太阳能设备,包括主设备一、主设备二以及衔接设置于主设备一及主设备二之间的硅片整体翻转移片机构;翻转移片机构包括设置在机架上的吸片翻片模组及吸片移载模组,吸片翻片模组对应主设备一出口端的载板一,吸片移载模组对应主设备二入口端的载板二。该实用新型通过在太阳能主设备相邻两道工艺之间增加翻转移片机构,主设备一的载板一进入翻转移片机构内并通过吸片翻片模组实现硅片的整体同步翻转,再由移片机械手转移将翻转后的硅片吸附移载到主设备二的硅片载板二上,从而实现了太阳能设备不同工艺之间的链式衔接,减少了配套的自动化设备,解决了占地面积大的问题,有效降低了设备及人员成本投入。

技术领域

本实用新型涉及高效太阳能电池生产技术领域,特别涉及一种硅片整体翻转移片机构及太阳能设备。

背景技术

在太阳能电池片生产时,需要通过太阳能设备将硅片正反面采用不同工艺进行镀膜,并且根据镀膜工艺的不同而选择不同材质的硅片载体(载板)。多道工艺的太阳能主设备之间需要靠花篮进行流转,每一道工艺的太阳能主设备都要配有单独自动化上下料机构,然后根据镀膜面不同再进行花篮翻转并流转到下一道工艺设备,不仅增加人工成本,且配套设备的成本也相应增高,而且连续镀膜的工艺链式结构无法实现。因此,需要研发一种能够实现硅片整体翻转移动的机构以衔接不同工艺之间的太阳能主设备,从而实现工艺链式结构的连续镀膜。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型首先提供了一种硅片整体翻转移片机构,其衔接设置于相邻两道用于硅片镀膜工艺的太阳能主设备一及主设备二之间,所述主设备一对应设置有载板一,所述主设备二对应设置有载板二;所述翻转移片机构包括设置在机架上的吸片翻片模组及吸片移载模组,所述吸片翻片模组对应所述主设备一出口端的载板一,所述吸片移载模组对应所述主设备二入口端的载板二;

所述吸片翻片模组包括对称安装在所述机架两端的升降气缸一,由所述升降气缸一驱动升降的支架一,并列设置在所述支架一上的多根翻转轴,并列设置在所述翻转轴上的多个翻转吸盘,以及用于多根所述翻转轴上翻转吸盘同步翻转的翻转机构,多排所述翻转吸盘与所述载板一上的硅片一一对应,且所述翻转吸盘具有吸嘴用于硅片取放;

所述吸片移载模组包括安装在所述机架上且相互平行设置的两根导轨,安装在所述两根所述导轨上的移片机械手,以及安装在所述导轨上用于驱动所述移片机械手沿所述导轨水平移动的移载气缸及移载导杆,所述导轨沿所述载板一及载板二运行方向延伸;

所述移片机械手包括分别安装在两根所述导轨上并对称的升降气缸二,以及由两个所述升降气缸二同步驱动升降的至少一排移载吸盘,每排所述移载吸盘的数量、规格及间距均与每根所述翻转轴上的翻转吸盘的数量、规格及间距一致。

其中,所述翻转机构包括设置在所述机架上的伺服电机,以及由所述伺服电机驱动并同步驱动多根所述翻转轴同步翻转的皮带或链轮。

其中,所述移片机械手包括连接在两个所述升降气缸二之间的升降主杆,安装在所述升降主杆上的支架二,以及对称设置在所述支架二上并相互平行的两根与所述导轨垂直的升降副杆,多个所述移载吸盘并列安装在所述升降副杆上,且每根所述升降副杆上移载吸盘的数量、规格及间距均与每根所述翻转轴上翻转吸盘的数量、规格及间距一致。

本实用新型还提供了一种太阳能设备,包括上述的硅片整体翻转移片机构,以及相邻两道用于硅片镀膜工艺的太阳能主设备一及主设备二;所述翻转移片机构衔接设置于所述主设备一及主设备二之间,对应所述主设备一的入口端设置有上下料机构一,对应所述主设备二的出口端设置有上下料机构二。

其中,所述翻转移片机构的吸片翻片模组与上下料机构一之间设置有载板回传系统一;所述载板回传系统一设置于所述主设备一的侧边或下方。

其中,所述翻转移片机构的吸片移载模组与上下料机构二之间设置有载板回传系统二;所述载板回传系统二设置于所述主设备二的侧边或下方。

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