[实用新型]一种巨量转移激光剥离装置有效
申请号: | 202021066903.7 | 申请日: | 2020-06-10 |
公开(公告)号: | CN212599670U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 蒋光平;许时渊 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/04;B23K26/70;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 徐凯凯;吴志益 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 巨量 转移 激光 剥离 装置 | ||
1.一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于,包括:
控制组件,所述控制组件包括处理器、激光调制电路和扫描驱动电路,所述处理器分别与所述激光调制电路和所述扫描驱动电路相连;
激光器,所述激光器与所述激光调制电路相连,所述激光器的出射端设置有光纤;
固定外壳,所述固定外壳固定设置,所述固定外壳起到结构支撑作用;
致动器,所述致动器固定设置于所述固定外壳,所述致动器与所述扫描驱动电路相连;
聚光镜片,所述聚光镜片固定设置于所述固定外壳的前端;
所述光纤固定于所述致动器并伸出所述致动器朝向所述聚光镜片的一端形成悬臂自由端,所述悬臂自由端位于所述致动器和所述聚光镜片之间。
2.根据权利要求1所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述固定外壳内还设置有一固定连接件,所述固定连接件为环状结构,所述致动器套设于所述固定连接件的内环内,所述致动器通过所述固定连接件固定设置于所述固定外壳内。
3.根据权利要求1所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述激光器为紫外激光器。
4.根据权利要求1所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述固定外壳垂直于载有待转移微型发光二极管的暂存基板。
5.根据权利要求4所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述悬臂自由端上还设置有一悬臂聚光组件;
所述悬臂聚光组件为半球状结构,所述悬臂聚光组件上设置有一经过球心的第一安装细孔,所述悬臂自由端延伸入所述第一安装细孔内;
所述悬臂自由端与所述第一安装细孔之间设置有粘接胶,所述悬臂聚光组件通过粘接胶固定设置于所述悬臂自由端上。
6.根据权利要求5所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述悬臂自由端上还设置有一重力承载组件;
所述重力承载组件为管状结构,所述重力承载组件内设置有第二安装细孔,所述悬臂自由端穿设于所述第二安装细孔内并延伸至所述第二安装细孔以外;
所述悬臂自由端与所述第二安装细孔之间设置有粘接胶,所述重力承载组件通过粘接胶固定设置于所述悬臂自由端上;
所述重力承载组件设置于所述悬臂聚光组件的后方。
7.根据权利要求6所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述悬臂聚光组件和所述重力承载组件为一体成型结构。
8.根据权利要求7所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述悬臂聚光组件为材质为透明材质,所述致动器的材质为压电陶瓷。
9.根据权利要求1-8任一项所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述光纤穿设于所述固定外壳,所述光纤与所述固定外壳之间设置有第一密封圈;
所述聚光镜片与所述固定外壳之间设置有第二密封圈。
10.根据权利要求1-8任一项所述的一种巨量转移激光剥离装置,其特征在于:所述固定外壳的材质为不锈钢或者铝或者塑料。
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