[实用新型]一种巨量转移激光剥离装置

说明书

本实用新型提供了一种巨量转移激光剥离装置，包括控制组件、激光器、固定外壳、致动器和聚光镜片。控制组件包括处理器、激光调制电路和扫描驱动电路，激光器的出射端设置有光纤；固定外壳固定设置；致动器固定设置于固定外壳，致动器与扫描驱动电路相连；聚光镜片固定设置于固定外壳的前端；光纤固定于致动器并伸出致动器朝向所述聚光镜片的一端形成悬臂自由端，悬臂自由端位于致动器和聚光镜片之间。致动器产生高频振动后带动悬臂自由端摆动，经过聚光镜片的聚光作用得到按照一定规律运动的光斑，光斑聚焦在特定位置时，就能够将微型发光二极管从暂存基板上剥离，整个巨量转移激光剥离装置具有结构简单且精准度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及LED技术领域，涉及一种巨量转移激光剥离装置，同时，还涉及一种结构简单且精准度高的巨量转移激光剥离装置。

背景技术

微型发光二极管具有比一般发光二极管更理想的光电效率、亮度和对比度以及更低功耗。多个微型发光二极管装载入发光背板上，形成微型发光二极管阵列。在生长基板上形成微型发光二极管后，一般需要先将转移至暂存基板上，需要将微型发光二极管装入发光背板时，再将微型发光二极管从暂存基板转移至发光背板。微型发光二极管通过粘合层固定于暂存基板上，而将微型发光二极管与暂存基板二者分离的过程，业界称之为剥离。一般地，剥离阶段所采用的关键设备为激光剥离装置。

现有技术中的激光剥离装置采用振镜扫描方式进行剥离，通过控制X轴和Y轴的反射镜来控制光斑的位置，结合两个扫描镜对光线进行反射，再通过两个振镜控制两块扫描镜的反射角度，从而达到控制入射光束到场镜到角度，进而控制光斑的焦点位置。然而，现有技术中的是激光剥离装置是一种高度复杂、高度精密的设备，对外界的振动、应力及马达的精度特别敏感，故很难实现精确控制光斑的轨迹。同时，此类激光剥离装置的体积庞大，系统繁琐，存在操作不便和维修困难的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种巨量转移激光剥离装置，能够将微型发光二极管从暂存基板上剥离，具有结构简单且精准度高等优点。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种巨量转移激光剥离装置，包括：

控制组件，所述控制组件包括处理器、激光调制电路和扫描驱动电路，所述处理器分别与所述激光调制电路和所述扫描驱动电路相连；

激光器，所述激光器与所述激光调制电路相连，所述激光器的出射端设置有光纤；

固定外壳，所述固定外壳固定设置，所述固定外壳起到结构支撑作用；

致动器，所述致动器固定设置于所述固定外壳，所述致动器与所述扫描驱动电路相连；

聚光镜片，所述聚光镜片固定设置于所述固定外壳的前端；所述光纤固定于所述致动器并伸出所述致动器朝向所述聚光镜片的一端形成悬臂自由端，所述悬臂自由端位于所述致动器和所述聚光镜片之间。

与现有技术相比，本技术方案的有益效果是：通过控制组件控制激光器发出激光和控制致动器振动，一方面，激光从悬臂自由端出射，另一方面，致动器产生高频振动后带动悬臂自由端摆动，经过聚光镜片的聚光作用得到按照一定规律运动的光斑，光斑聚焦在特定位置时，就能够将微型发光二极管从暂存基板上剥离，整个巨量转移激光剥离装置具有结构简单且精准度高等优点。

进一步地，所述固定外壳内还设置有一固定连接件，所述固定连接件为环状结构，所述致动器套设于所述固定连接件的内环内，所述致动器通过所述固定连接件固定设置于所述固定外壳内。

采用上述方案的有益效果是：在固定外壳内设置有固定连接件，通过固定连接件能够更好地将致动器固定设置于固定外壳内，使得致动器的稳定性更好。

进一步地，所述激光器为紫外激光器。