[实用新型]一种原子层沉积装置

权利要求书

1.一种原子层沉积装置，用于粉末包覆，其特征在于，包括粉末容器、分散杆和电源，所述粉末容器用于容纳粉末，所述分散杆设置在所述粉末容器内，所述电源的两个电极分别与所述分散杆和所述粉末容器电连接，所述分散杆至少部分位于所述粉末容器内且所述分散杆的伸入部分与所述粉末容器之间形成电场。

2.如权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，还包括腔体、第一驱动装置和连接组件，所述粉末容器设置在所述腔体内，所述腔体和所述粉末容器通过连接组件转动连接，所述第一驱动装置通过连接组件驱动粉末容器转动。

3.如权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述分散杆包括分散本体，以及自分散本体的外表面向外远离外表面的方向延伸的至少两个分散针。

4.如权利要求3所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述分散针呈细长的针状或者芒刺状。

5.如权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于，还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置用于通过连接组件驱动分散杆转动，以及通过连接组件驱动分散杆沿轴向移动。

6.如权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于，还包括保温层和设置在所述保温层内的加热器，所述保温层设置在所述腔体的外表面。

7.如权利要求2所述的原子层沉积装置，其特征在于，还包括抽真空装置、前驱气体输送装置、进气口和排气口，所述抽真空装置与所述腔体通过所述排气口连通，所述前驱气体输送装置通过所述进气口与所述腔体连通，所述前驱气体输送装置用于向所述腔体内输送前驱气体。

8.如权利要求5所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述连接组件包括第一端盖、第一密封器、旋转管、第二端盖、第二密封器、动力杆和传动杆，

所述腔体一侧开口，所述第一端盖设置在所述腔体的开口上，所述第一密封器与所述第一端盖固定连接，所述第一密封器与所述旋转管转动连接，所述粉末容器与所述旋转管固定连接，所述第二端盖与所述旋转管固定连接或者一体设置，所述第二密封器与所述第二端盖固定连接，所述第二密封器一端与动力杆连接，另一端与传动杆连接，所述传动杆和所述分散杆连接，所述第一驱动装置通过驱动所述第二密封器旋转，进而驱动所述旋转管转动，所述第二驱动装置用于驱动所述动力杆转动以带动所述传动杆和所述分散杆转动，以及驱动所述动力杆沿轴向移动以带动所述传动杆和所述分散杆移动。

9.如权利要求8所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述粉末容器与所述旋转管卡接，所述传动杆与所述分散杆卡接。

10.如权利要求8所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一端盖与所述第一密封器绝缘设置，所述旋转管与所述第二密封器绝缘设置。