[实用新型]一种新型的石墨舟对中装置有效
申请号: | 202021080754.X | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212342587U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 李苗苗;李静 | 申请(专利权)人: | 上海亿横精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海首言专利代理事务所(普通合伙) 31360 | 代理人: | 刘宏博 |
地址: | 201617 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 石墨 装置 | ||
1.一种新型的石墨舟对中装置,包括支架(1)和固定杆(12),其特征在于:所述支架(1)的右端下方设置有倾斜滑轨(2),且倾斜滑轨(2)的右端设置有盖板(3),所述盖板(3)的下方开设有第一凹槽(4),且第一凹槽(4)的右端下方设置有限位块(5),所述限位块(5)的右端设置有晶片(6),且晶片(6)的左端下方安装有稳固盘(7),所述稳固盘(7)的后方开设有第二凹槽(8),且稳固盘(7)的右端开设有盲孔(9),所述盲孔(9)的右端开设有通孔(10),且通孔(10)的内部设置有支杆(11),所述固定杆(12)位于支杆(11)的下方,且固定杆(12)的左端下方设置有螺丝(13),所述螺丝(13)的右端安装有安装座(14),且安装座(14)的右端下方设置有底座(15)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的石墨舟对中装置,其特征在于:所述第一凹槽(4)的外表面与倾斜滑轨(2)的外表面相贴合,且倾斜滑轨(2)贯穿于第一凹槽(4)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种新型的石墨舟对中装置,其特征在于:所述限位块(5)与稳固盘(7)为镶嵌式,且晶片(6)的外表面与限位块(5)的外表面相贴合。
4.根据权利要求1所述的一种新型的石墨舟对中装置,其特征在于:所述稳固盘(7)的中轴线与晶片(6)的中轴线之间相重合,且支杆(11)贯穿于稳固盘(7)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种新型的石墨舟对中装置,其特征在于:所述支杆(11)与固定杆(12)构成一体化结构,且支杆(11)关于稳固盘(7)的中心位置呈圆周分布。
6.根据权利要求1所述的一种新型的石墨舟对中装置,其特征在于:所述固定杆(12)与安装座(14)构成一体化结构,且安装座(14)通过螺丝(13)与底座(15)相连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造