[实用新型]一种硅片提拉装置

权利要求书

1.一种硅片提拉装置，包括固定平台(2)，其特征在于：所述固定平台(2)底部的左右两侧均固定安装有底脚(1)，所述固定平台(2)顶部的左右两侧均固定安装有侧板(3)，两个所述侧板(3)相对的一侧均固定安装有烘干机(13)，所述固定平台(2)的顶部固定安装有水箱(4)，两个所述侧板(3)之间的顶部固定安装有顶板(12)，所述顶板(12)的顶部固定安装有数量为两个的气缸(9)，两个所述气缸(9)之间的底部固定安装有升降台(8)，所述升降台(8)的底部活动安装有连接杆(10)，所述升降台(8)的底部通过连接杆(10)活动安装有旋转平台(7)，所述升降台(8)底部的右侧固定安装有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴固定安装有转动锥齿(15)，所述连接杆(10)的外侧固定安装有一端与转动锥齿(15)相啮合的啮合齿轮(11)，所述旋转平台(7)底部的左侧固定安装有固定轴(6)，所述旋转平台(7)的底部通过固定轴(6)活动安装有倾斜台(5)，所述倾斜台(5)的顶部固定安装有提升花篮(16)，所述倾斜台(5)顶部的右侧固定安装有滑轨(17)，所述滑轨(17)的顶部活动安装有滑块(18)，所述旋转平台(7)底部的右侧固定安装有一端与滑块(18)活动连接的电动推杆(19)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述滑块(18)的顶部固定安装有活动轴，且滑块(18)通过活动轴与电动推杆(19)活动连接，所述固定轴(6)与旋转平台(7)呈九十度垂直安装。

3.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述连接杆(10)的顶部固定安装有轴承，且连接杆(10)通过轴承与升降台(8)活动连接，所述倾斜台(5)与固定轴(6)之间的夹角为锐角。

4.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述滑轨(17)的顶部开设有滑槽，且滑槽与滑块(18)相适配，所述烘干机(13)呈T字形。

5.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述烘干机(13)的数量为两个，且两个烘干机(13)以升降台(8)的中垂线呈对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种硅片提拉装置，其特征在于：所述气缸(9)的外侧通过连接座与顶板(12)固定连接，所述连接杆(10)与升降台(8)呈九十度垂直安装。