[实用新型]一种硅片提拉装置

说明书

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种硅片提拉装置，包括固定平台，所述固定平台底部的左右两侧均固定安装有底脚，所述固定平台顶部的左右两侧均固定安装有侧板。该硅片提拉装置，将硅片放置在提升花篮上，接着控制气缸下推升降台，通过旋转平台使倾斜台以及提升花篮重新浸入水箱中，通过控制电动推杆，使得倾斜台以固定轴为轴心灵活倾斜，接着控制驱动电机，带动旋转平台以及提升花篮转动，从而快速使提升花篮内的硅片清洗干净，同时硅片与硅片间产生的短距离位移使其不易发生粘黏现象，待清洗完毕后，将其左右两侧的烘干机打开，对清洗完毕的硅片快速烘干处理，整个清洗过程十分快速便捷，设备使用起来更加方便实用。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种硅片提拉装置。

背景技术

一般地，硅料经切割形成硅片后，硅片表面硅料碎屑或切割液等脏污，故需要通过硅片清洗机对切割后的硅片进行清洗，然后进行烘干处理，一般地，在通过硅片清洗机对硅片进行清洗后，利用慢提拉装置将装有硅片的花篮提起进行沥水。

目前现有的硅片提拉装置一般存在着使用不方便的缺点，为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平，然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂，使用起来较为不便，故而提出一种硅片提拉装置来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片提拉装置，具备使用方便等优点，解决了目前现有的硅片提拉装置一般存在着使用不方便的缺点，为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平，然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂，使用起来较为不便的问题。

(二)技术方案

为实现上述使用方便的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片提拉装置，包括固定平台，所述固定平台底部的左右两侧均固定安装有底脚，所述固定平台顶部的左右两侧均固定安装有侧板，两个所述侧板相对的一侧均固定安装有烘干机，所述固定平台的顶部固定安装有水箱，两个所述侧板之间的顶部固定安装有顶板，所述顶板的顶部固定安装有数量为两个的气缸，两个所述气缸之间的底部固定安装有升降台，所述升降台的底部活动安装有连接杆，所述升降台的底部通过连接杆活动安装有旋转平台，所述升降台底部的右侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有转动锥齿，所述连接杆的外侧固定安装有一端与转动锥齿相啮合的啮合齿轮，所述旋转平台底部的左侧固定安装有固定轴，所述旋转平台的底部通过固定轴活动安装有倾斜台，所述倾斜台的顶部固定安装有提升花篮，所述倾斜台顶部的右侧固定安装有滑轨，所述滑轨的顶部活动安装有滑块，所述旋转平台底部的右侧固定安装有一端与滑块活动连接的电动推杆。

优选的，所述滑块的顶部固定安装有活动轴，且滑块通过活动轴与电动推杆活动连接，所述固定轴与旋转平台呈九十度垂直安装。

优选的，所述连接杆的顶部固定安装有轴承，且连接杆通过轴承与升降台活动连接，所述倾斜台与固定轴之间的夹角为锐角。

优选的，所述滑轨的顶部开设有滑槽，且滑槽与滑块相适配，所述烘干机呈T字形。

优选的，所述烘干机的数量为两个，且两个烘干机以升降台的中垂线呈对称分布。

优选的，所述气缸的外侧通过连接座与顶板固定连接，所述连接杆与升降台呈九十度垂直安装。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片提拉装置，具备以下有益效果：