[实用新型]一种真空镀膜快速成型装置有效

专利信息
申请号: 202021089784.7 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN212451620U 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 刘国新;朱爱军 申请(专利权)人: 太仓伟林五金制品有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C16/54
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 刘巍
地址: 215400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 快速 成型 装置
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:包括腔体(1),所述腔体(1)内部设置有镀膜空间(2),所述镀膜空间(2)内部设置有靶材(3),所述靶材(3)顶部固定连接有连接体(31),所述连接体(31)内侧固定连接有驱动体(32),所述靶材(3)下方设置有敲击探头(4),所述驱动体(32)远离靶材(3)的一侧设置有第一抽真空组件(5),所述镀膜空间(2)远离腔体(1)的一侧设置有过渡墙(6),所述过渡墙(6)中心处内部设置有过渡阀(7),所述过渡墙(6)远离镀膜空间(2)的一侧设置有过渡空间(8),所述过渡空间(8)内部下方设置有加热结构(9),所述加热结构(9)上方设置有第二抽真空组件(10),所述过渡空间(8)的内部设置有减容体(11)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述镀膜空间(2)的数量有若干组且首尾相连,所述每一个镀膜空间(2)内部均含有靶材(3)、连接体(31)、驱动体(32)、敲击探头(4)、第一抽真空组件(5)与加热结构(9),所述两相邻的镀膜空间(2)之间通过过渡墙(6)相隔离。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述连接体(31)的形状呈圆环型,所述驱动体(32)的动力装置为电动机,所述驱动体(32)外侧设置有六个连接杆,所述驱动体(32)位于连接体(31)的圆环的圆心处通过连接杆与连接体(31)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述敲击探头(4)的动力装置为固定于腔体(1)内部的气缸。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述过渡墙(6)的数量有若干组,所述每两个过渡墙(6)之间形成一个过渡空间(8)且将镀膜空间(2)相隔离,所述每个过渡墙(6)中心处皆贯穿设置有过渡阀(7)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述过渡空间(8)的数量有若干组,所述每一个过渡空间(8)内部皆设置有加热结构(9)与第二抽真空组件(10),所述过渡空间(8)的容积小于任一个镀膜空间(2)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置,其特征在于:所述减容体(11)的数量有若干组,且每两个分布在过渡空间(8)的内部上下处。

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