[实用新型]一种真空镀膜快速成型装置

权利要求书

1.一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：包括腔体(1)，所述腔体(1)内部设置有镀膜空间(2)，所述镀膜空间(2)内部设置有靶材(3)，所述靶材(3)顶部固定连接有连接体(31)，所述连接体(31)内侧固定连接有驱动体(32)，所述靶材(3)下方设置有敲击探头(4)，所述驱动体(32)远离靶材(3)的一侧设置有第一抽真空组件(5)，所述镀膜空间(2)远离腔体(1)的一侧设置有过渡墙(6)，所述过渡墙(6)中心处内部设置有过渡阀(7)，所述过渡墙(6)远离镀膜空间(2)的一侧设置有过渡空间(8)，所述过渡空间(8)内部下方设置有加热结构(9)，所述加热结构(9)上方设置有第二抽真空组件(10)，所述过渡空间(8)的内部设置有减容体(11)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述镀膜空间(2)的数量有若干组且首尾相连，所述每一个镀膜空间(2)内部均含有靶材(3)、连接体(31)、驱动体(32)、敲击探头(4)、第一抽真空组件(5)与加热结构(9)，所述两相邻的镀膜空间(2)之间通过过渡墙(6)相隔离。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述连接体(31)的形状呈圆环型，所述驱动体(32)的动力装置为电动机，所述驱动体(32)外侧设置有六个连接杆，所述驱动体(32)位于连接体(31)的圆环的圆心处通过连接杆与连接体(31)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述敲击探头(4)的动力装置为固定于腔体(1)内部的气缸。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述过渡墙(6)的数量有若干组，所述每两个过渡墙(6)之间形成一个过渡空间(8)且将镀膜空间(2)相隔离，所述每个过渡墙(6)中心处皆贯穿设置有过渡阀(7)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述过渡空间(8)的数量有若干组，所述每一个过渡空间(8)内部皆设置有加热结构(9)与第二抽真空组件(10)，所述过渡空间(8)的容积小于任一个镀膜空间(2)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜快速成型装置，其特征在于：所述减容体(11)的数量有若干组，且每两个分布在过渡空间(8)的内部上下处。