[实用新型]一种测试结构有效

专利信息
申请号: 202021090911.5 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN211879333U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 王志强 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 柳虹
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 测试 结构
【权利要求书】:

1.一种测试结构,其特征在于,包括:

第一金属线,第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线之间的介质层;所述第一金属线用于连接第一电压,所述第二金属线用于连接第二电压;

其中,所述第一金属线通过第一电编程熔丝连接第一电压,和/或,所述第二金属线通过第二电编程熔丝连接第二电压。

2.根据权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述第一电编程熔丝和所述第二电编程熔丝为金属硅化物层。

3.根据权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线和所述第二金属线位于同一平面内,且均为梳状结构,均具有多个导电梳齿,所述导电梳齿相互交错,形成梳状对梳状的结构。

4.根据权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线和所述第二金属线位于同一平面内,所述第一金属线为梳状结构,具有多个导电梳齿,所述第二金属线为蛇形弯曲结构,所述第二金属线环绕所述导电梳齿,所述导电梳齿嵌于所述蛇形弯曲的第二金属线构成的凹槽中。

5.根据权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线和所述第二金属线位于不同平面内,所述第一金属线和所述第二金属线结构相同且上下对准重叠设置,所述第一金属线和所述第二金属线为梳状结构或蛇形弯曲结构,所述梳状结构具有多个导电梳齿。

6.根据权利要求1所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线和所述第二金属线位于同一平面内且为相互平行的直线或蛇形弯曲结构。

7.根据权利要求3-5任意一项所述的测试结构,其特征在于,所述导电梳齿具有延伸的多个子结构。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线上设置有第一金属端子,所述第一金属端子与所述第一电编程熔丝连接,所述第一电编程熔丝连接所述第一电压;和/或,所述第二金属线上设置有第二金属端子,所述第二金属端子与所述第二电编程熔丝层连接,所述第二电编程熔丝连接所述第二电压。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的测试结构,其特征在于,所述第一金属线和所述第二金属线为铜线或铝线。

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