[实用新型]一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置有效
| 申请号： | 202021095520.2 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN212610890U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;寇宗和;常红旺 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 彭光荣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 组合 悬臂 石墨 推送 装置 | ||
1.一种CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述组合悬臂杆(4)的一端固定于悬臂推舟固定座(1)，另一端悬空地支撑石墨舟(3)，所述组合悬臂杆(4)的内部设有用于支撑组合悬臂杆(4)的金属支撑杆(5)。
2.根据权利要求1所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，当所述组合悬臂杆(4)向下弯曲时，所述金属支撑杆(5)与组合悬臂杆(4)相抵并对组合悬臂杆(4)产生朝上的力；当组合悬臂杆(4)发生断裂时，所述金属支撑杆(5)支撑住石墨舟(3)。
3.根据权利要求1所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述组合悬臂杆(4)的内部设有中心杆(6)，所述中心杆(6)的两端分别贯穿且固定于组合悬臂杆(4)的两端。
4.根据权利要求3所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述金属支撑杆(5)一体连接有固定件(501)，所述固定件(501)与一夹片(502)相配合以夹持住中心杆(6)。
5.根据权利要求4所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述固定件(501)为呈半圆柱形的连接块。
6.根据权利要求5所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述连接块与夹片(502)位于中心杆(6)的两侧，所述连接块与夹片(502)均开设有螺孔(503)，所述螺孔(503)通过与螺杆配合可压缩夹片(502)与连接块之间的距离。
7.根据权利要求4所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述中心杆(6)的外壁开设有用于部分容纳夹片(502)的凹槽(601)。
8.根据权利要求1所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述组合悬臂杆(4)包括固定支撑杆(401)、悬空支撑杆(402)和安装套筒(403)，所述固定支撑杆(401)部分位于安装套筒(403)内部且与安装套筒(403)固接，所述悬空支撑杆(402)端部插入安装套筒(403)且抵于固定支撑杆(401)的端部。
9.根据权利要求8所述的CVD用的组合悬臂杆，其特征在于，所述安装套筒(403)开设有螺丝孔(404)，所述固定支撑杆(401)开设有环形槽(405)。
10.一种石墨舟推送装置，其特征在于，包括悬臂推舟固定座(1)、悬臂推舟炉门(2)以及如权利要求1-9中任一项所述的组合悬臂杆(4)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
