[实用新型]一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置有效
申请号: | 202021095520.2 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN212610890U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 王俊朝;寇宗和;常红旺 | 申请(专利权)人: | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 彭光荣 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cvd 组合 悬臂 石墨 推送 装置 | ||
本实用新型公开了一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置,属于太阳能电池设备技术领域,所述组合悬臂杆的一端固定于悬臂推舟固定座,另一端悬空地支撑石墨舟,所述组合悬臂杆的内部设有用于支撑组合悬臂杆的金属支撑杆;解决的技术问题为:现有的悬臂杆上放有石墨舟时,由于石墨舟重力影响,会将悬臂杆向下压,使其产生弯曲形变,取下石墨舟时悬臂杆会恢复原状,但若长期循环使用,悬臂杆过度弯曲而发生断裂,这时石墨舟重心发生偏移,从悬臂杆上掉落,砸坏石墨舟而造成直接经济损失。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域,尤其涉及一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置。
背景技术
目前,管式CVD设备,是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备,随着光伏设备技术的发展,降低成本、提高效率的要求越来越高,而提高设备结构使用寿命是降本提效的方法。
现有的悬臂杆上放有石墨舟时,由于石墨舟重力影响,会将悬臂杆向下压,使其产生弯曲形变,取下石墨舟时悬臂杆会恢复原状,但若长期循环使用,悬臂杆过度弯曲而发生断裂,这时石墨舟重心发生偏移,从悬臂杆上掉落,砸坏石墨舟而造成直接经济损失。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置,以解决上述的技术问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种CVD用的组合悬臂杆,所述组合悬臂杆的一端固定于悬臂推舟固定座,另一端悬空地支撑石墨舟,所述组合悬臂杆的内部设有用于支撑组合悬臂杆的金属支撑杆。
作为优选,当所述组合悬臂杆向下弯曲时,所述金属支撑杆与组合悬臂杆相抵并对组合悬臂杆产生朝上的力;当组合悬臂杆发生断裂时,所述金属支撑杆支撑住石墨舟。
通过采用上述技术方案,在普通的悬臂杆上安装石墨舟时,由于石墨舟重力影响,会将组合悬臂杆向下压,使其产生弯曲形变,取下石墨舟时组合悬臂杆会恢复原状,长期循环使用,组合悬臂杆弯曲形变而发生断裂,这时石墨舟重心发生偏移,从悬臂杆上掉落,砸坏石墨舟而造成直接经济损失;
加入高强度的金属支撑杆后,在石墨舟安装于组合悬臂杆时,组合悬臂杆变形向下弯曲,此时高强度的金属支撑杆介入,起到辅助支撑作用,有效地延长组合悬臂杆的使用寿命;当组合悬臂杆发生断裂时,高强度的金属支撑杆也在同时起到支撑石墨舟的作用,减小石墨舟的重心偏移,使其在组合悬臂杆断裂时不会掉落,避免砸舟造成直接经济损失,减少设备的维护成本以及增加设备开机率,提高单机生产效率。
作为优选,所述组合悬臂杆的内部设有中心杆,所述中心杆的两端分别贯穿且固定于组合悬臂杆的两端。
通过采用上述技术方案,中心杆的作用主要是加强组合悬臂杆的内部结构,并提供金属支撑杆的固定途径。
作为优选,所述金属支撑杆一体连接有固定件,所述固定件与一夹片相配合以夹持住中心杆。
通过采用上述技术方案,通过固定件和夹片夹住中心杆,从而将金属支撑杆可拆卸地固定在中心杆上,方便后续的维护及维修工作的进行。
作为优选,所述固定件为呈半圆柱形的连接块。
通过采用上述技术方案,使得固定件的外形与组合悬臂杆的外形相匹配。
作为优选,所述连接块与夹片位于中心杆的两侧,所述连接块与夹片均开设有螺孔,所述螺孔通过与螺杆配合可压缩夹片与连接块之间的距离。
通过采用上述技术方案,在安装金属支撑杆时,可先将金属支撑杆套设在中心杆之外,然后取一螺杆穿过夹片后与连接块的螺孔相配合,旋拧螺杆即可压缩夹片与连接块之间的距离,以使夹片与连接块夹住中心杆,将中心杆与金属支撑杆固定。
作为优选,所述中心杆的外壁开设有用于部分容纳夹片的凹槽。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的