[实用新型]金刚石厚导电膜的生长装置

说明书

本实用新型涉及金刚石加工设备技术领域，名称是金刚石厚导电膜的生长装置，包括一个成膜仓，所述的成膜仓侧面具有侧门，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管，在成膜仓内还有电加热管；所述的电加热管可以使成膜仓温度达到300—350℃；所述的加热管是两层的，分别是上层电加热管和下层电加热管，所述的上层电加热管朝下对着成膜平台，所述的下层电加热管朝上对着成膜平台；这样的金刚石厚导电膜的生长装置可以生产出导电膜较厚的金刚石、满足一些客户需要的优点。

技术领域

本实用新型涉及金刚石加工设备技术领域，具体地说是涉及金刚石导电膜的生长装置。

背景技术

所述的金刚石导电膜的生长装置是在金刚石表面沉积一层导电膜的装置。

所述的金刚石导电膜的生长装置包括一个成膜仓，所述的成膜仓侧面具有侧门，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管，在成膜仓内还有电加热管；生产时，金刚石和成膜剂就放置在成膜平台上，侧门和成膜仓密闭，开动电加热管和高压进气管，金刚石就在高温和高压的情况下形成导电膜。

现有技术中，电加热管一般只能将成膜仓温度升高至200—250℃，生产膜的厚度较薄，一般达到20丝，不能生产出导电膜更厚的金刚石，不能满足一些客户对产品的要求。

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种可以生产出金刚石导电膜较厚的装置——金刚石厚导电膜的生长装置。

本实用新型的目的是这样实现的：金刚石厚导电膜的生长装置，包括一个成膜仓，所述的成膜仓侧面具有侧门，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管，在成膜仓内还有电加热管；其特征是：所述的电加热管可以使成膜仓温度达到300—350℃。

为了达到上述目的，所述的加热管是两层的，分别是上层电加热管和下层电加热管，所述的上层电加热管朝下对着成膜平台，所述的下层电加热管朝上对着成膜平台。

进一步地讲，所述的成膜仓内具有滑道，所述的成膜平台下面有辊轮安装在滑道上，还有振动电机安装在成膜平台上。

进一步地讲，所述的成膜平台上面是耐高温的上下透气的网格布。

进一步地讲，所述的成膜仓还安装有循环管，所述的循环管具有进口和出口，所述的进口和出口分别是多个的，所述的进口朝下对着成膜平台，所述的出口朝上对着成膜平台。

本实用新型的有益效果是：这样的金刚石厚导电膜的生长装置可以生产出导电膜较厚的金刚石、满足一些客户需要的优点。

附图说明

图1是本实用新型的纵剖面结构示意图。

图2是图1中的A—A方向剖面示意图。

其中：1、成膜仓 2、侧门 3、成膜平台 4、高压进气管 5、电加热管 51、上层电加热管 52、下层电加热管 6、滑道 7、辊轮 8、振动电机 9、网格布 10、循环管。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1、2所示，金刚石厚导电膜的生长装置，包括一个成膜仓1，所述的成膜仓侧面具有侧门2，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台3安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管4，在成膜仓内还有电加热管5；其特征是：所述的电加热管可以使成膜仓温度达到300—350℃。

本实用新型这样设置，可以使生产导电膜的金刚石在较高的温度下完成成膜，可以生产出较厚导电膜的金刚石，实现本实用新型的目的。