[实用新型]一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台有效

专利信息
申请号: 202021111475.5 申请日: 2020-06-16
公开(公告)号: CN213266697U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 罗娟 申请(专利权)人: 西安艾美科光电科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 710000 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 氢化 非晶硅 光学薄膜 生产 旋转 平台
【权利要求书】:

1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,包括旋转平台(1)和反应板(2),所述反应板(2)设于旋转平台(1)上方,且反应板(2)与旋转平台(1)匹配设置,其特征在于,所述旋转平台(1)下方设置有连接板(3),所述连接板(3)上侧壁对称设置有伸缩外管(4),且旋转平台(1)下侧壁固定连接有与伸缩外管(4)匹配的伸缩内管(5),所述伸缩外管(4)与伸缩内管(5)竖直滑动连接,所述连接板(3)与旋转平台(1)之间还通过高度调节装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述高度调节装置包括与连接板(3)上侧壁中心处转动连接的丝杆(7),所述连接板(3)上侧壁设置有固定板(10),所述固定板(10)上转动连接有转杆(11),所述转杆(11)靠近丝杆(7)的一端贯穿固定板(10)固定连接有第一斜齿轮(12),且丝杆(7)上固定套设有与第一斜齿轮(12)啮合的第二斜齿轮(13),所述丝杆(7)上螺纹连接有升降螺母(8),所述升降螺母(8)位于第二斜齿轮(13)上方,且升降螺母(8)侧壁对称设置有折弯杆(9),每个所述折弯杆(9)上端均与旋转平台(1)下侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述转杆(11)远离第一斜齿轮(12)的一端设置有转钮,所述转钮设置有半球形。

4.根据权利要求2所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述折弯杆(9)设置成L型,且折弯杆(9)外表面光滑打磨处理。

5.根据权利要求1所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述伸缩内管(5)和伸缩外管(4)均采用不锈钢材料制作而成,且伸缩内管(5)外侧壁设置有分布均匀的刻度线(6)。

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