[实用新型]一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台有效
申请号: | 202021111475.5 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN213266697U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 罗娟 | 申请(专利权)人: | 西安艾美科光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氢化 非晶硅 光学薄膜 生产 旋转 平台 | ||
1.一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,包括旋转平台(1)和反应板(2),所述反应板(2)设于旋转平台(1)上方,且反应板(2)与旋转平台(1)匹配设置,其特征在于,所述旋转平台(1)下方设置有连接板(3),所述连接板(3)上侧壁对称设置有伸缩外管(4),且旋转平台(1)下侧壁固定连接有与伸缩外管(4)匹配的伸缩内管(5),所述伸缩外管(4)与伸缩内管(5)竖直滑动连接,所述连接板(3)与旋转平台(1)之间还通过高度调节装置连接。
2.根据权利要求1所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述高度调节装置包括与连接板(3)上侧壁中心处转动连接的丝杆(7),所述连接板(3)上侧壁设置有固定板(10),所述固定板(10)上转动连接有转杆(11),所述转杆(11)靠近丝杆(7)的一端贯穿固定板(10)固定连接有第一斜齿轮(12),且丝杆(7)上固定套设有与第一斜齿轮(12)啮合的第二斜齿轮(13),所述丝杆(7)上螺纹连接有升降螺母(8),所述升降螺母(8)位于第二斜齿轮(13)上方,且升降螺母(8)侧壁对称设置有折弯杆(9),每个所述折弯杆(9)上端均与旋转平台(1)下侧壁固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述转杆(11)远离第一斜齿轮(12)的一端设置有转钮,所述转钮设置有半球形。
4.根据权利要求2所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述折弯杆(9)设置成L型,且折弯杆(9)外表面光滑打磨处理。
5.根据权利要求1所述的一种氢化非晶硅光学薄膜生产用旋转平台,其特征在于,所述伸缩内管(5)和伸缩外管(4)均采用不锈钢材料制作而成,且伸缩内管(5)外侧壁设置有分布均匀的刻度线(6)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的