[实用新型]一种分拣机的存料机构以及分拣机有效
申请号: | 202021121595.3 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN212759815U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 王胜利 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/38 | 分类号: | B07C5/38;H01L21/67 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 任志龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分拣 机构 以及 | ||
1.一种分拣机的存料机构,包括存料架(100),以及设置在存料架(100)上用于存放晶粒的存料膜件(110),其特征在于:所述存料架(100)上沿垂直于所述存料膜件(110)的方向滑移连接有滑动件,所述滑动件上具有能够抵触在所述存料膜件(110)上的支撑区。
2.根据权利要求1所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述滑动件为滑移连接在存料架(100)上的支撑块(120),所述存料架(100)上设置有用于驱使支撑块(120)滑动的驱动件(130),所述支撑区形成于所述支撑块(120)与所述存料膜件(110)接触面上,所述存料膜件(110)与所述支撑块(120)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述支撑块(120)的面积不小于所述存料膜件(110)的晶粒存放面积。
4.根据权利要求2所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述支撑块(120)上设置有支撑架(121),所述支撑架(121)上插接有存料膜件框(124),所述存料膜件(110)固定设置在所述存料膜件框(124)上。
5.根据权利要求2所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述驱动件(130)包括安装在存料架(100)上的气浮外套(131)、穿设在气浮外套(131)内且与支撑块(120)连接的气浮内套(132),以及固定安装在气浮外套(131)上且与气浮内套(132)连接的水平推动件。
6.根据权利要求5所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述水平推动件为音圈电机(133),所述气浮内套(132)为空心结构,所述音圈电机(133)穿设在所述气浮内套(132)中,所述音圈电机(133)的定子(134)固定安装在所述气浮外套(131)上,所述音圈电机(133)的动子(135)与所述气浮内套(132)的内壁固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述气浮外套(131)上固定连接有用于夹持所述音圈电机(133)的定子(134)的夹套(140),所述夹套(140)包括一端固定连接在气浮外套(131)上的夹体(141)、开设在夹体(141)上且供定子(134)穿过的夹槽(142)。
8.根据权利要求7所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述夹体(141)远离固定端的一侧具有与夹槽(142)连通的形变槽(143),所述形变槽(143)将夹体(141)的一端分隔形成两个夹持端(144),两个所述夹持端(144)上均具有腰型槽(146),所述腰型槽(146)内固定连接有固定螺栓,两个所述夹持端(144)上具有收紧件(145)。
9.根据权利要求8所述的一种分拣机的存料机构,其特征在于:所述存料架(100)设置有做回转运动的转盘(150),所述气浮外套(131)固定连接在所述转盘(150)上,所述存料架(100)上设置有用于驱使所述转盘(150)转动的回转件(151);所述回转件(151)包括设置在存料架(100)上的伺服电机(152)、设置在转盘(150)上的回转环(153),以及套设在回转环(153)上且与所述伺服电机(152)输出轴连接的回转皮带(154)。
10.一种分拣机,其特征在于:包括根据权利要求1-9中任意一项所述的存料机构。
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