[实用新型]一种便携式变温样品台装置

权利要求书

1.一种便携式变温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体（4）、设置在样品台腔体（4）顶部样品台上底面（13）及设置在样品台腔体（4）底部的样品台下底面（8），所述样品台腔体（4）内部在位于样品台下底面（8）内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体（4）内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面（13）顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面（8）底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。

2.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用加热装置，所述加热装置包括硅胶电热片（10）及导热硅胶（9），所述硅胶电热片（10）通过导热硅胶（9）与样品台下底面（8）固定。

3.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用降温装置，所述降温装置包括半导体制冷片（11）及导热硅胶（9），所述半导体制冷片（11）的冷面通过导热硅胶（9）和样品台下底面（8）相固定。

4.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺杆（1）、限位板（2）及螺母（3），所述螺杆（1）胶合设置在样品台下底面（8）上，所述限位板（2）套设在螺杆（1）上，所述螺母（3）配合设置在螺杆（1）上，且通过螺母（3）能够对限位板（2）与样品台下底面（8）之间进行调节。

5.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘（6），所述固定圆盘（6）胶合设置在样品台上底面（13），通过固定圆盘（6）使得该样品台与真空镀膜机相固定。

6.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管（12）及水冷管固定支架（14），所述水冷管（12）通过水冷管固定支架（14）固定设置在样品台腔体（4）内。

7.根据权利要求6所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体（4）外壁上开设有导线导管孔（5），所述温度调节装置通过导线导管孔（5）与外界电源相连，所述水冷管（12）的管口通过导线导管孔（5）与真空镀膜机的水冷机相连。

8.根据权利要求1所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台下底面（8）顶部固定设置温度传感器（7）。