[实用新型]一种便携式变温样品台装置

说明书

本实用新型公开了一种便携式变温样品台装置，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。本实用新型的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种便携式变温样品台装置。

背景技术

真空镀膜技术（vacuum deposition）是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言，提高了薄膜的结合能力，能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度，并且减少了对环境的污染，随着真空镀膜技术的不断发展，不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化，但是目前一直没有一种便携式低温或者升温样品台来解决该类问题，为此该实用新型提供了一种解决方案思路，基于半导体制冷的便携式样品台。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了结构设计合理的一种便携式变温样品台装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种便携式变温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置，所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用加热装置，所述加热装置包括硅胶电热片及导热硅胶，所述硅胶电热片通过导热硅胶与样品台下底面固定。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述温度调节装置采用降温装置，所述降温装置包括导体制冷片及导热硅胶，所述半导体制冷片的冷面通过导热硅胶和样品台下底面相固定。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺杆、限位板及螺母，所述螺杆胶合设置在样品台下底面上，所述限位板套设在螺杆上，所述螺母配合设置在螺杆上，且通过螺母能够对限位板与样品台下底面之间进行调节。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘，所述固定圆盘胶合设置在样品台上底面，通过固定圆盘使得该样品台与真空镀膜机相固定。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管及水冷管固定支架，所述水冷管通过水冷管固定支架固定设置在样品台腔体内。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体外壁上开设有导线导管孔，所述温度调节装置通过导线导管孔与外界电源相连，所述水冷管的管口通过导线导管孔与真空镀膜机的水冷机相连。

所述的一种便携式变温样品台装置，其特征在于，所述样品台下底面顶部固定设置温度传感器。

本实用新型的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构正面结构示意图；