[实用新型]激光器芯片测试一体设备

权利要求书

1.一种激光器芯片测试一体设备，其特征在于：包括机架（1）、安装于机架（1）的基板（101）上的测试座（2）、驱动机构（3）和测试探头（4），所述驱动机构（3）安装于基板（101）上，所述测试探头（4）可移动地安装于驱动机构（3）上，并位于测试座（2）上方；

所述驱动机构（3）进一步包括Z轴组件（301）、与Z轴组件（301）活动连接的Y轴组件（302）、X轴电机（303）和两个平行设置的X轴导轨（304），所述Z轴组件（301）上安装有测试探头（4），用于驱动测试探头（4）上下移动，此Z轴组件（301）安装于Y轴组件（302）上，并可沿Y轴方向往复运动，所述Y轴组件（302）的两端分别设置有一滑块（305），两个所述滑块（305）分别与两个X轴导轨（304）滑动连接，使Y轴组件（302）可沿X轴方向往复运动；所述测试座（2）进一步包括测试基板（21）、加热片（22）和底板（23），所述底板（23）位于测试基板（21）正下方，所述加热片（22）设置于测试基板（21）与底板（23）之间，所述加热片（22）的中央开设有一通孔（24）。

2.根据权利要求1所述的激光器芯片测试一体设备，其特征在于：两个所述X轴导轨（304）中的一个导轨为丝杆（306），此丝杆（306）的一端与所述X轴电机（303）连接，两个所述滑块（305）中的一个滑块（305）套装于丝杆（306）上，并与丝杆（306）螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的激光器芯片测试一体设备，其特征在于：所述通孔（24）为工字型通孔。

4.根据权利要求1所述的激光器芯片测试一体设备，其特征在于：所述测试基板（21）上方两侧分别设置有一压条（25）。

5.根据权利要求1所述的激光器芯片测试一体设备，其特征在于：所述测试基板（21）通过设置于其下表面两端的支撑座（26）与基板（101）固定连接。

6.根据权利要求1所述的激光器芯片测试一体设备，其特征在于：所述测试基板（21）上表面设置有至少两个定位销（27）。