[实用新型]一种晶圆扫描喷嘴清洗槽有效
| 申请号： | 202021130986.1 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN213162175U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 邹志文;华强;侯永刚;黄奔;孟庆国;刘杰;崔虎山;许开东 | 申请（专利权）人： | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆扫描 喷嘴 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆扫描喷嘴清洗槽，包括：
清洗槽本体，所述清洗槽本体的槽壁上设有进液接头，清洗槽本体的槽壁上位于所述进液接头的下方设有溢流接头，清洗槽本体的底部设有排液接头，其特征在于，还包括：
隔膜泵，通过下排管路与所述排液接头连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆扫描喷嘴清洗槽，其特征在于，所述下排管路为全氟烷氧基树脂管路。
3.根据权利要求1所述的晶圆扫描喷嘴清洗槽，其特征在于，所述排液接头包括接头本体、以及设置在接头本体上的排液阀。
4.根据权利要求1所述的晶圆扫描喷嘴清洗槽，其特征在于，所述清洗槽本体内部包括多个槽体单元，每个槽体单元上均设有至少一个进液接头、至少一个排液接头以及至少一个溢流接头。
5.根据权利要求1~4中任一所述的晶圆扫描喷嘴清洗槽，其特征在于，所述清洗槽本体内设有液位传感器。
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