[实用新型]一种硅片全自动上下料机

权利要求书

1.一种硅片全自动上下料机，其特征在于，包括依次设置的花篮流转机构、倒片机构和舟传送机构，所述花篮流转机构运送满载花篮/空花篮至所述倒片机构上，所述舟传送机构传送空金属舟/满载金属舟至所述倒片机构上，在所述倒片机构上进行硅片的上下料；

其中，所述花篮流转机构设置有依次对接的花篮传送工位、花篮翻转工位、花篮旋转工位和花篮转移工位；所述舟传送机构设置有依次对接的舟旋转工位和舟翻转工位；所述倒片机构包括倒片龙门、第一顶片组件、第一规整组件、第二顶片组件和第二规整组件。

2.根据权利要求1所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，所述花篮流转机构包括上层流转机构和下层流转机构，所述满载花篮/空花篮通过所述下层流转机构流入至所述倒片机构上，倒片机构上完成上下料的空花篮/满载花篮通过所述上层流转机构流出。

3.根据权利要求2所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，在所述花篮转移工位上设置有花篮提升机构，用于将倒片机构上完成上下料的空花篮/满载花篮提升以与所述上层流转机构对接。

4.根据权利要求1所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，所述花篮流转机构设置有两套，分别设置于所述倒片机构的两侧；所述倒片龙门、第一顶片组件、第一规整组件均设置有两套。

5.根据权利要求1所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，在所述花篮翻转工位上设置有夹持组件和翻转组件，在所述花篮旋转工位上设置有抓持组件和旋转组件。

6.根据权利要求5所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，所述夹持组件设置在所述翻转工位的两侧，所述翻转组件包括第一伺服电机，所述夹持组件连接该第一伺服电机；所述抓持组件设置在所述旋转工位上方，所述旋转组件包括第二伺服电机，所述抓持组件连接该第二伺服电机。

7.根据权利要求1所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，在所述花篮转移工位上设置有伺服电机和花篮输送带。

8.根据权利要求1所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，在所述舟旋转工位上设置有定位组件和舟旋转组件，所述舟旋转组件连接所述定位组件；在所述舟翻转工位上设置有舟翻转组件，所述舟翻转组件连接所述舟旋转组件。

9.根据权利要求8所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，所述定位组件包括定位板，所述舟旋转组件包括第三伺服电机，所述舟翻转组件包括第四伺服电机，在所述舟翻转工位上设置有丝杆螺母平移组件。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的硅片全自动上下料机，其特征在于，所述第一顶片组件、第二顶片组件包括多个硅片托齿，所述第一规整组件、第二规整组件包括多个规整侧齿，所述硅片托齿、规整侧齿为氧化锆陶瓷柱状齿。