[实用新型]光伏电池工艺炉内的载片舟有效
申请号: | 202021144105.1 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN211929454U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 陈庆敏;吴晓松;李丙科;朱加杰;李建新 | 申请(专利权)人: | 无锡松煜科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/223;H01L31/18 |
代理公司: | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人: | 熊启奎;周晓东 |
地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电池 工艺 载片舟 | ||
1.一种光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:包括舟体架(1)、活动分流板(2)和若干个载片架单元(3),舟体架(1)沿长度方向包括左右两个侧栏(5),两个侧栏(5)的两端通过横向栏杆(6)或者固定分流板(7)固定连接,若干个载片架单元(3)成一排放置在舟体架(1)上,载片架单元(3)内安装硅片(4);在相邻载片架单元(3)之间和/或载片架单元(3)与舟体架(1)的端部之间插入活动分流板(2);固定分流板(7)和活动分流板(2)均开设有多个均匀分布的气孔,对气体进行均匀分流。
2.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:当舟体架(1)的端部为固定分流板(7)时,固定分流板(7)的板面上开设有阵列分布的多个气孔,顶边为弧形或者方形,底边设有两个延伸出的支脚(8)。
3.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:当舟体架(1)的端部为横向栏杆(6)时,横向栏杆(6)连接两个侧栏(5)的底部,向下设有两个延伸出的支脚(8)。
4.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:当舟体架(1)的端部为横向栏杆(6)时,在载片架单元(3)与横向栏杆(6)之间设有插入的活动分流板(2)。
5.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:活动分流板(2)为两层平行间隔且通过连接杆(10)连接的透气板(11),板面上开设有阵列分布的多个气孔,顶边为弧形或者方形,底边为平底。
6.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:活动分流板(2)的左右两侧卡在舟体架(1)的两个侧栏(5)内。
7.根据权利要求1所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:载片架单元(3)包括左面板(13)、右面板(14)和连接左面板(13)、右面板(14)的若干横杆(15),左面板(13)和右面板(14)的外侧面上设有凸块(17)。
8.根据权利要求7所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:横杆(15)的数量为四个,四个横杆(15)相互平行围成一个长方体,四个横杆(15)分别位于长方体的四个棱上。
9.根据权利要求8所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:上方两个横杆(15)与下方两个横杆(15)的相对表面上开设有连续的卡槽(16),四个横杆(15)上的卡槽(16)间距相同且上下对应,分别卡住硅片(4)的底边和顶边。
10.根据权利要求9所述的光伏电池工艺炉内的载片舟,其特征在于:上下相对的卡槽(16)倾斜设置,倾斜角度为70~89度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造