[实用新型]光伏电池工艺炉内的载片舟

说明书

本实用新型公开了一种光伏电池工艺炉内的载片舟，包括舟体架、活动分流板和若干个载片架单元，舟体架沿长度方向包括左右两个侧栏，两个侧栏的两端通过横向栏杆或者固定分流板固定连接，若干个载片架单元成一排放置在舟体架上，载片架单元内安装硅片；在相邻载片架单元之间和/或载片架单元与舟体架的端部之间插入活动分流板；固定分流板和活动分流板均开设有多个均匀分布的气孔，对气体进行均匀分流。本实用新型通过舟体架上的固定分流板或活动分流板保证气流的均匀性，提高硅片的成品质量。而且载片舟上的载片架单元和活动分流板的组合形式多样，安装灵活，可适用于不同尺寸的硅片规格或者不同的工艺要求。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域，尤其是一种光伏电池工艺炉内的载片舟。

背景技术

太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散工艺是指硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。镀膜工艺是指采用石英管或其他材料作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积反应，硅片在沉积腔室内发生沉积或钝化后完成镀膜。因此，在光伏电池的制备过程中，在工艺炉（比如扩散炉或者沉积炉）中需要有承载硅片的舟体，并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内。

现有技术中的载片舟通常包括底部的舟托和上部的舟架，舟架包括位于工艺腔室轴线方向的两侧面板以及将两侧支架垂直相连的多个横杆，横杆四个为一组构成一个立方形的载片单元，硅片摆放在石英舟上时与工艺腔室的轴线方向平行，参与反应的气体穿流式流过硅片之间。但是，由于现有的载片舟的两端采用横向栏杆作为连接结构，在反应气流向硅片之间流动时会受到局部阻挡而发生气流不均匀的现象，从而影响硅片质量和成品率。现有的载片舟为一个固定的整体结构，载片舟适用于大小尺寸固定的硅片，无法对内部进行灵活的调整，适应性差。

实用新型内容

本申请人针对上述现有的载片舟存在的两端气流不均导致硅片质量受到影响、载片舟整体结构和配置无法灵活调整、无法适用多种规格硅片的情形等缺点，提供了一种结构合理的光伏电池工艺炉内的载片舟，能够实现工艺炉内对硅片的穿流式吹气，保证气流的均匀性，提高硅片的成品质量，而且载片舟上的载片架与分流板组合形式多样，安装灵活，适用于不同尺寸的硅片规格。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种光伏电池工艺炉内的载片舟，包括舟体架、活动分流板和若干个载片架单元，舟体架沿长度方向包括左右两个侧栏，两个侧栏的两端通过横向栏杆或者固定分流板固定连接，若干个载片架单元成一排放置在舟体架上，载片架单元内安装硅片；在相邻载片架单元之间和/或载片架单元与舟体架的端部之间插入活动分流板；固定分流板和活动分流板均开设有多个均匀分布的气孔，对气体进行均匀分流。

作为上述技术方案的进一步改进：

当舟体架的端部为固定分流板时，固定分流板的板面上开设有阵列分布的多个气孔，顶边为弧形或者方形，底边设有两个延伸出的支脚。

当舟体架的端部为横向栏杆时，横向栏杆连接两个侧栏的底部，向下设有两个延伸出的支脚。

当舟体架的端部为横向栏杆时，在载片架单元与横向栏杆之间设有插入的活动分流板。

活动分流板为两层平行间隔且通过连接杆连接的透气板，板面上开设有阵列分布的多个气孔，顶边为弧形或者方形，底边为平底。

活动分流板的左右两侧卡在舟体架的两个侧栏内。

载片架单元包括左面板、右面板和连接左面板、右面板的若干横杆，左面板和右面板的外侧面上设有凸块。