[实用新型]一种PERC太阳能电池减反射钝化膜有效
申请号: | 202021149777.1 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN212783467U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 高丽丽;时宝;李吉;顾生刚;杨二存;杨联赞;刘浩东;赵小平;刘海泉 | 申请(专利权)人: | 天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 侯莉 |
地址: | 300400 天津市北辰区天津北辰*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 perc 太阳能电池 反射 钝化 | ||
1.一种PERC太阳能电池减反射钝化膜,包括第一层SiNx薄膜和位于其上的第二层SiNx薄膜,其特征在于:在所述第一层SiNx薄膜和第二层SiNx薄膜之间设有至少一层ZnO薄膜。
2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池减反射钝化膜,其特征在于:所述ZnO薄膜的总厚度为8~13nm,折射率为1.9~2.0。
3.根据权利要求2所述的PERC太阳能电池减反射钝化膜,其特征在于:所述第一层SiNx薄膜的厚度为15~20nm,折射率为2.2~2.3。
4.根据权利要求1~3任一项所述的PERC太阳能电池减反射钝化膜,其特征在于:所述第二层SiNx薄膜的厚度为45~50nm,折射率为1.7~1.8。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的