[实用新型]一种CVD的激光加工设备

权利要求书

1.一种CVD的激光加工设备，包括机架（1）、依次设于机架（1）上的全反透镜（2）、Q开关（3）、激光模块（4）、快门（5）、输出腔镜（6）、扩束镜头（7）和聚焦镜（8），其特征在于：所述全反透镜（2）的下侧固定有透镜底座（21），所述透镜底座（21）的下侧固定有至少一个第一燕尾块（211），所述Q开关（3）的下侧固定有开关底座（31），所述开关底座（31）的下侧固定有至少一个第二燕尾块（311），所述激光模块（4）的下侧固定有激光底座（41），所述激光底座（41）的下侧固定有至少一个第三燕尾块（411），所述快门（5）的下侧固定有快门底座（51），所述快门底座（51）的下侧固定有至少一个第四燕尾块（511），所述输出腔镜（6）的下侧固定有腔镜底座（61），所述腔镜底座（61）的下侧固定有至少一个第五燕尾块（611），所述扩束镜头（7）的固定于腔镜底座（61）上且设于输出腔镜（6）远离快门（5）的一侧，所述机架（1）上设有供第一燕尾块（211）、第二燕尾块（311）、第三燕尾块（411）、第四燕尾块（511）以及第五燕尾块（611）嵌设滑移的燕尾槽（11），所述透镜底座（21）与开关底座（31）、激光底座（41）、快门底座（51）、腔镜底座（61）上均螺纹连接有至少一个压紧机架（1）的压紧螺栓（22）。

2.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于扩束镜头（7）远离输出腔镜（6）一侧的45°反射镜（9），所述45°反射镜（9）设于聚焦镜（8）的上方。

3.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上的第一光阑（10），所述第一光阑（10）设于全反透镜（2）与Q开关（3）之间。

4.根据权利要求2所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上驱使聚焦镜（8）升降的驱动件（30）。

5.根据权利要求1或4所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于聚焦镜（8）上的除尘组件（40），所述除尘组件（40）包括除尘喷嘴（401）、通过除尘管与除尘喷嘴（401）连接的第一气泵、固定于聚焦镜（8）上的支撑杆（403）、一端套设于支撑杆（403）上且与支撑杆（403）滑移连接的悬挂杆（404）、螺纹连接于悬挂杆（404）的一端且压紧支撑杆（403）的固定螺钉（405）、穿设于悬挂杆（404）的另一端且与悬挂杆（404）转动连接的固定柱（406）和螺纹连接于悬挂杆（404）的另一端且压紧固定柱（406）的锁定螺钉（407），所述除尘喷嘴（401）靠近除尘管的一端插接于固定柱（406）上。

6.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上且设于聚焦镜（8）下方的装夹组件（50），所述装夹组件（50）包括设于聚焦镜（8）下侧的装夹架（501）、固定于装夹架（501）上的装夹块（502）和通过吸气管（503）与装夹块（502）连接的第二气泵，所述机架（1）具有一支撑板（12），所述装夹架（501）设于支撑板（12）上，所述装夹块（502）远离装夹架（501）的一侧开设有与吸气管（503）互相连通的吸附口（5021）。

7.根据权利要求6所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于装夹架（501）下方驱使装夹架（501）平移的驱动组件（60）。

8.根据权利要求7所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：所述支撑板（12）上设有通孔（121），所述驱动组件（60）包括第一直线驱动件（601），所述第一直线驱动件（601）的驱动端穿设于通孔（121）内且与装夹架（501）固定。

9.根据权利要求8所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：所述驱动组件（60）还包括固定于机架（1）上且驱动端与第一直线驱动件（601）固定的第二直线驱动件（602），所述第一直线驱动件（601）驱动端的运动方向与第二直线驱动件（602）驱动端的运动方向互相垂直。

10.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上且设于激光模块（4）与快门（5）之间的偏振片（70）。