[实用新型]一种CVD的激光加工设备

说明书

本申请涉及一种CVD的激光加工设备，涉及激光束加工领域，其包括机架、全反透镜、Q开关、激光模块、快门、输出腔镜、扩束镜头和聚焦镜，全反透镜下侧固定有透镜底座，透镜底座下侧固定有第一燕尾块，Q开关下侧固定有开关底座，开关底座下侧固定有第二燕尾块，激光模块下侧固定有激光底座，激光底座下侧固定有第三燕尾块，快门下侧固定有快门底座，快门底座下侧固定有第四燕尾块，输出腔镜下侧固定有腔镜底座，腔镜底座下侧固定有第五燕尾块，扩束镜头固定于腔镜底座上，机架上设有燕尾槽，透镜底座与开关底座、激光底座、快门底座、腔镜底座上均螺纹连接有压紧螺栓。本申请具有能根据不同的切割需求调节切割时激光强度的效果。

技术领域

本申请涉及激光束加工的领域，尤其是涉及一种CVD的激光加工设备。

背景技术

CVD金刚石是含碳气体和氢气的混合物在高温和低于标准大气压的压力下被激发分解，形成活性炭金刚石碳原子，并在基体上沉淀交互生长成聚晶金刚石，其使用范围比较广，利用其硬度可以用于刀具的制作，或者利用金刚石的化学稳定性制成各类生物传感器件。

相关技术中的激光加工设备，包括激光发射装置，所述激光发射装置包括机架1、依次设于机架1上的全反透镜2、Q开关3、激光模块4、快门5、输出腔镜6、扩束镜头7和聚焦镜8，全反透镜2、Q开关3均通过螺栓14直接固定于机架1上，机架1上开设有与螺栓14螺纹连接的螺纹孔；激光从激光模块4发出，Q开关3将连续的激光变成脉冲的激光，提高了激光的功率，连续激光从激光模块4发射出，Q开关3将连续激光转化为脉冲激光以提高激光的功率，快门5关闭时，全反透镜2、Q开关3与激光模块4形成谐振腔，脉冲激光在谐振腔内来回反射增加强度，当脉冲激光达到指定的强度时，快门5打开，脉冲激光经经输出腔镜6射出，再经过扩束镜头7扩束，经聚焦镜8聚焦然后对CVD金刚石切割。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有零部件之间距离固定，使得切割时的激光强度固定，很难根据切割的需要调节零部件的间距，进而调节切割时的强度的缺陷。

实用新型内容

为了能够根据不同的切割需求调节切割时激光的强度，本申请提供一种CVD的激光加工设备。

本申请提供的一种CVD的激光加工设备采用如下的技术方案：

一种CVD的激光加工设备，包括机架、依次设于机架上的全反透镜、Q开关、激光模块、快门、输出腔镜、扩束镜头和聚焦镜，所述全反透镜的下侧固定有透镜底座，所述透镜底座的下侧固定有至少一个第一燕尾块，所述Q开关的下侧固定有开关底座，所述开关底座的下侧固定有至少一个第二燕尾块，所述激光模块的下侧固定有激光底座，所述激光底座的下侧固定有至少一个第三燕尾块，所述快门的下侧固定有快门底座，所述快门底座的下侧固定有至少一个第四燕尾块，所述输出腔镜的下侧固定有腔镜底座，所述腔镜底座的下侧固定有至少一个第五燕尾块，所述扩束镜头的固定于腔镜底座上且设于输出腔镜远离快门的一侧，所述机架上设有供第一燕尾块、第二燕尾块、第三燕尾块、第四燕尾块以及第五燕尾块嵌设滑移的燕尾槽，所述透镜底座与开关底座、激光底座、快门底座、腔镜底座上均螺纹连接有至少一个压紧机架的压紧螺栓。

通过采用上述技术方案，能够通过第一燕尾块、第二燕尾块、第三燕尾块、第四燕尾块、第五燕尾块与燕尾槽的滑移，调节零部件之间的距离，进而调节激光切割时的强度，以满足不同的切割需要，扩宽了设备的适用范围。

优选的，还包括设于扩束镜头远离输出腔镜一侧的45°反射镜，所述45°反射镜设于聚焦镜的上方。

通过采用上述技术方案，45°反射镜的设置，使得全反透镜、Q开关、激光模块、快门、输出腔镜、扩束镜头无需设于聚焦镜的上方，而可以设于聚焦镜的一侧，降低了全反透镜、Q开关、激光模块、快门、输出腔镜、扩束镜头高度，方便进行校正调节，提高了设备的使用效率。

优选的，还包括设于机架上的第一光阑，所述第一光阑设于全反透镜与Q开关之间。