[实用新型]一种大小可调节的PVD镀膜夹具

权利要求书

1.一种大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3)，所述支架(3)设有滑槽(331)，所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内，且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接；

所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12)；所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接，以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。

2.根据权利要求1所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)均包括连接块(111)和臂本体(112),所述连接块(111)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,且所述连接块(111)靠近所述螺杆(2)的一端位于所述滑槽(331)内，所述连接块(111)的另一端与所述臂本体(112)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述臂本体(112)的一侧凹设有用于容置基底(8)边缘的容置槽(113)。

4.根据权利要求2所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述臂本体(112)与所述连接块(111)通过螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述夹具本体(1)为多个，多个所述夹具本体(1)沿所述螺杆(2)的轴向间隔设置。

6.根据权利要求1所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述螺杆(2)为多个，多个所述螺杆(2)间隔设置。

7.根据权利要求1所述的大小可调节的PVD镀膜夹具，其特征在于，所述支架(3)包括横架(33)，以及相对设置的第一支架(31)和第二支架(32)，所述横架(33)的一端与所述第一支架(31)连接，所述横架(33)的另一端与所述第二支架(32)连接；所述滑槽(331)设于所述横架(33)，且所述螺杆(2)的一端与所述第一支架(31)转动连接，所述螺杆(2)的另一端与所述第二支架(32)转动连接。