[实用新型]一种大小可调节的PVD镀膜夹具

说明书

本实用新型涉及镀膜工装技术领域，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具,包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。

技术领域

本实用新型涉及镀膜工装技术领域，具体而言，涉及一种大小可调节的PVD镀膜夹具。

背景技术

半导体刻蚀时，通常会用到基底，在基底上需镀覆一层膜，以提高基底的耐腐蚀性。

在对基底进行PVD镀膜时，需用夹具将基底固定。但基底的尺寸不同，所需要的夹具也会不同，在镀膜时，需选择与基底配套的夹具来固定基底，导致夹具的适配灵活性差，造成一定的浪费，同时也在一定程度上增加了制造夹具的成本。

专利CN109554681A公开了一种物理气相沉积用镀膜夹具，该夹具包括底座、支座和推进螺栓，通过推进螺栓，来调节夹持的大下，使得夹具的适用范围广，提高夹具的利用率。但该专利的夹具，一次只能夹持一个工件，不适用于多个基底同时夹持和同时镀膜。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种大小可调节的PVD镀膜夹具，通过螺杆的转动，调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间隔，以使得第一夹持臂和第二夹持臂可以夹持不同大小的基底。

本实用新型提供了一种大小可调节的PVD镀膜夹具，包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；

所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距。

进一步地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均包括连接块和臂本体,所述连接块的一端与所述螺杆螺纹连接,且所述连接块靠近所述螺杆的一端位于所述滑槽内，所述连接块的另一端与所述臂本体可拆卸连接。

进一步地，所述臂本体的一侧凹设有用于容置基底边缘的容置槽。

进一步地，所述臂本体与所述连接块通过螺栓连接。

进一步地，所述夹具本体为多个，多个所述夹具本体沿所述螺杆的轴向间隔设置。

进一步地，所述螺杆为多个，多个所述螺杆间隔设置。

进一步地，所述支架包括相对设置的第一支架、第二支架，以及横架，所述横架的一端与所述第一支架连接，所述横架的另一端与所述第二支架连接；所述滑槽设于所述横架，且所述螺杆的一端与所述第一支架转动连接，所述螺杆的另一端与所述第二支架转动连接。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

在本实用新型中，夹具本体有第一夹持臂和第二夹持臂组成，基底被第一夹持臂和第二夹持臂夹持，并且，在支架上设置有滑槽，螺杆位于该滑槽内，且螺杆与支架螺纹连接，第一夹持臂和/或第二夹持臂的一端与螺杆螺纹连接，通过转动螺杆，可调节第一夹持臂和第二夹持臂之间的间距，以适用于不同大小的基底。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对本实用新型中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。