[实用新型]一种真空镀膜翻转工装有效
申请号: | 202021162634.4 | 申请日: | 2020-06-20 |
公开(公告)号: | CN212834008U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 白秋云 | 申请(专利权)人: | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 潘育敏 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 翻转 工装 | ||
1.一种真空镀膜翻转工装,其特征在于,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架(4)和用于翻转所述夹具的翻转机构(5);
所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架(4)转动连接;
所述翻转机构(5)包括齿轮(51)和调节板(52),所述齿轮(51)与一所述转轴同轴连接,所述调节板(52)设有条形齿,所述条形齿与所述齿轮(51)啮合,以带动所述齿轮(51)转动。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述夹具包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3),所述支架(3)设有滑槽(331),所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内,且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接;
所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12),所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)对称设置;所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)均包括连接块(111)和臂本体(112),所述连接块(111)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,且所述连接块(111)靠近所述螺杆(2)的一端位于所述滑槽(331)内,所述连接块(111)的另一端与所述臂本体(112)可拆卸连接;
所述第一夹持臂(11)的所述臂本体(112)和所述第二夹持臂(12)的臂本体(112)相对的一侧均凹设有用于容置基底(8)边缘的容置槽(113)。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述臂本体(112)与所述连接块(111)通过螺栓连接。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述夹具本体(1)为多个,多个所述夹具本体(1)沿所述螺杆(2)的轴向间隔设置。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述转轴包括第一转轴(34)和第二转轴(35),所述第一转轴(34)与所述齿轮(51)同轴连接;所述夹具靠近所述第一转轴(34)的一端设有第三转轴(36),所述第三转轴(36)与所述第一转轴(34)可拆卸连接;所述夹具的另一端设有第四转轴(37),所述第四转轴(37)与所述第二转轴(35)可拆卸连接。
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