[实用新型]一种真空镀膜翻转工装有效

专利信息
申请号: 202021162634.4 申请日: 2020-06-20
公开(公告)号: CN212834008U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 白秋云 申请(专利权)人: 成都超纯应用材料有限责任公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 代理人: 潘育敏
地址: 610200 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 翻转 工装
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜翻转工装,其特征在于,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架(4)和用于翻转所述夹具的翻转机构(5);

所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架(4)转动连接;

所述翻转机构(5)包括齿轮(51)和调节板(52),所述齿轮(51)与一所述转轴同轴连接,所述调节板(52)设有条形齿,所述条形齿与所述齿轮(51)啮合,以带动所述齿轮(51)转动。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述夹具包括夹具本体(1)、螺杆(2)和支架(3),所述支架(3)设有滑槽(331),所述螺杆(2)位于所述滑槽(331)内,且所述螺杆(2)与所述支架(3)转动连接;

所述夹具本体(1)包括用于夹持基底(8)的第一夹持臂(11)和第二夹持臂(12),所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)对称设置;所述第一夹持臂(11)和/或所述第二夹持臂(12)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,以调节所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)的间距。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述第一夹持臂(11)和所述第二夹持臂(12)均包括连接块(111)和臂本体(112),所述连接块(111)的一端与所述螺杆(2)螺纹连接,且所述连接块(111)靠近所述螺杆(2)的一端位于所述滑槽(331)内,所述连接块(111)的另一端与所述臂本体(112)可拆卸连接;

所述第一夹持臂(11)的所述臂本体(112)和所述第二夹持臂(12)的臂本体(112)相对的一侧均凹设有用于容置基底(8)边缘的容置槽(113)。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述臂本体(112)与所述连接块(111)通过螺栓连接。

5.根据权利要求2所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述夹具本体(1)为多个,多个所述夹具本体(1)沿所述螺杆(2)的轴向间隔设置。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜翻转工装,其特征在于,所述转轴包括第一转轴(34)和第二转轴(35),所述第一转轴(34)与所述齿轮(51)同轴连接;所述夹具靠近所述第一转轴(34)的一端设有第三转轴(36),所述第三转轴(36)与所述第一转轴(34)可拆卸连接;所述夹具的另一端设有第四转轴(37),所述第四转轴(37)与所述第二转轴(35)可拆卸连接。

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