[实用新型]一种真空镀膜翻转工装

说明书

本实用新型涉及工装夹具技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。在本实用新型中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。

技术领域

本实用新型涉及工装夹具技术领域，具体而言，涉及一种真空镀膜翻转工装。

背景技术

半导体刻蚀时，通常会用到基底，在基底上需镀覆一层膜，以提高基底的耐腐蚀性。

在对基底进行镀膜时，通常会使用工装夹具将基底固定，再将固定好的基底放置到镀膜机的真空腔中进行镀膜。目前，用于固定基底的夹具功能较为单一，当需要对基底进行两面镀膜时，需将夹具和基底从真空腔中取出，将基底翻转后，再进行第二次镀膜，需进行两次的抽真空，操作繁琐。并且，对于不同尺寸的基底，需采用不同的夹具进行固定，夹具的适用的灵活程度低，需准备多中规格的夹具，增加了生产成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜翻转工装，通过翻转机构，将夹具翻转180°，便于对基底进行多面镀膜。

本实用新型提供了一种真空镀膜翻转工装，包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构；

所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接；

所述翻转机构包括齿轮和调节板，所述齿轮与一所述转轴同轴连接，所述调节板设有条形齿，所述条形齿与所述齿轮啮合，以带动所述齿轮转动。

进一步地，所述夹具包括夹具本体、螺杆和支架，所述支架设有滑槽，所述螺杆位于所述滑槽内，且所述螺杆与所述支架转动连接；

所述夹具本体包括用于夹持基底的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂对称设置；所述第一夹持臂和/或所述第二夹持臂的一端与所述螺杆螺纹连接，以调节所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的间距。

进一步地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂均包括连接块和臂本体,所述连接块的一端与所述螺杆螺纹连接,且所述连接块靠近所述螺杆的一端位于所述滑槽内，所述连接块的另一端与所述臂本体可拆卸连接；

所述第一夹持臂的所述臂本体和所述第二夹持臂的臂本体相对的一侧均凹设有用于容置基底边缘的容置槽。

进一步地，所述臂本体与所述连接块通过螺栓连接。

进一步地，所述夹具本体为多个，多个所述夹具本体沿所述螺杆的轴向间隔设置。

进一步地，所述调节板的一端贯穿真空镀膜机的顶壁，且所述调节板位于真空腔外的一端设置固定螺母，用于固定所述调节板的高度。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

在本实用新型中，该翻转工装包括夹具，在该夹具上设置有翻转机构，该翻转机构包括齿轮和调节板，齿轮与转轴同轴连接，调节板设有条形齿，通过条形齿与齿轮的啮合，用于带动齿轮转动，进而带动夹具翻转以实现基底的翻转，方便对基底的多面进行镀膜。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对本实用新型中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。